智慧財產及商業法院行政-IPCA,102,行專訴,114,20140731,3

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  1. 主文
  2. 事實及理由
  3. 一、事實概要:
  4. 二、原告主張:
  5. (一)證據2並未揭示系爭專利申請專利範圍1、3、4項「不
  6. (二)況原處分及訴願決定對於證據2的揭露更屬矛盾,且自行
  7. (三)證據2已明確揭示其視窗係一「插塞」,卻無任何關於「
  8. (四)系爭專利申請專利範圍第1、3、4項並未被證據2所揭
  9. (五)證據2係使用「堅硬的聚氨酯」非「堅硬均質的聚氨酯,
  10. (六)被告僅引「有添加物即有研磨能力」作為其依據,並進而
  11. (七)綜上,證據2並未揭示系爭專利「由固體均勻聚合體片材
  12. (八)並聲明求為判決:原處分及訴願決定均撤銷。
  13. 三、被告抗辯:
  14. (一)證據2足資證明系爭專利申請專利範圍第1、3、4項違反核
  15. (二)並聲明求為判決:駁回原告之訴。
  16. 四、參加人部分:
  17. (一)系爭專利申請專利範圍之用語「固體均勻聚合體片材」,
  18. (二)根據系爭專利之說明書之解釋,其申請專利範圍中所用之
  19. (三)在系爭專利申請前,發明所屬技術領域中具有通常知識者
  20. (四)證據2之外文說明書應視為證據2所揭露之內容的一部分
  21. (五)原告提出之原證1至原證5不具證據能力或證據力,無法據
  22. (六)補強證據3至補強證據7用於解讀系爭專利之申請專利範圍
  23. (七)綜上所述,發明所屬技術領域中具有通常知識者能夠直接
  24. (八)並聲明求為判決:駁回原告之訴。
  25. 五、上開事實概要欄所述之事實,為兩造所不爭執,並有系爭專
  26. 六、經核本件兩造爭點為證據2是否足以證明系爭專利申請專利
  27. (一)查系爭專利係於85年8月27日申請,經審定核准專利後,
  28. (二)系爭專利之技術內容:
  29. (三)本件舉發證據之說明:
  30. (四)證據2不足以證明系爭專利申請專利範圍第1項擬制喪失新
  31. (五)證據2不足證明系爭專利申請專利範圍第3項擬制喪失新穎
  32. (六)證據2不足證明系爭專利申請專利範圍第4項擬制喪失新穎
  33. 七、綜上所述,證據2無法證明系爭專利申請專利範圍第1、3
  34. 八、本件事證已臻明確,兩造及參加人其餘主張或答辯,經本院
  35. 法官與書記官名單、卷尾、附錄
  36. 留言內容


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智慧財產法院行政判決
102年度行專訴字第114號
103年7月9日辯論終結
原 告 羅門哈斯電子材料CMP控股公司
代 表 人 布雷克T.畢德曼(董事長)
訴訟代理人 郭雨嵐律師(兼送達代收人)
呂紹凡律師
輔 佐 人 洪珮瑜
被 告 經濟部智慧財產局
代 表 人 王美花(局長)
訴訟代理人 李聖賢
董必正
參 加 人 劉勝芳
訴訟代理人 彭國洋律師
徐念懷律師
陳翊芬專利師
上列當事人間因發明專利舉發事件,原告不服經濟部中華民國102 年9 月12日經訴字第10206106170 號訴願決定,提起行政訴訟,並經本院裁定命參加人獨立參加本件之訴訟,本院判決如下︰

主 文

原處分及訴願決定均撤銷。

訴訟費用由被告負擔。

事實及理由

一、事實概要:訴外人羅戴爾股份有限公司(下稱羅戴爾公司)前於民國85年8 月27日以「拋光墊」(嗣修正為「可用於積體電路晶圓之拋光墊」)」向經濟部中央標準局(88年1 月26日改制為智慧財產局)申請發明專利,經該局編為第85110408號審查,准予專利,並於公告期滿後,發給發明第97574 號專利證書(下稱系爭專利)。

嗣羅戴爾公司於89年8 月9 日將系爭專利移轉予原告並核准登記在案。

其後參加人以系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項有違核准時專利法第20條第1項第2款之規定,對之提起舉發;

原告則於99年2 月4 日於另案(舉發NO2 案)提出申請專利範圍更正本。

案經被告審查,認系爭專利前揭更正本雖符合審定時專利法第64條第1項第1款及第2項規定,應准予更正,惟更正後系爭專利仍有違核准時專利法第20條第1項第2款規定,乃以101 年11月28日(101 )智專三(三)05053 字第10121338980 號專利舉發審定書為「舉發成立,應撤銷專利權」之處分。

原告不服,提起訴願,經經濟部於102 年9 月12日以經訴字第10206106170 號訴願決定駁回,原告仍不服,遂向本院提起行政訴訟。

因本院認本件判決之結果,將影響參加人之權利或法律上之利益,依職權命參加人獨立參加本件被告之訴訟。

二、原告主張:

(一)證據2 並未揭示系爭專利申請專利範圍1 、3 、4 項「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」之技術特徵,顯非系爭專利之「相同發明」,自非適格證據:1、證據2 並未明確揭露「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」之技術特徵,惟原處分竟以不具添加物、具透射性而錯誤「推論」不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力,顯非「直接且無歧異得知」,且其推論亦屬有誤:⑴根據Hanny等人之論文「預成形撓性發泡體之化學硬化(Chemical Rigidization of Preformed Flexible Foams)」、美國專利公開第2004/0000000A1號、日本專利公開第0000-000000 號可知,含有「添加物」可不影響其對光線的「透射性」,且有「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」。

⑵是否含有「添加物」(或是否具有「透射性」)皆與「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」無關,並非具有添加物之聚氨酯即表示具有「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」,亦非不具添加物之聚氨酯即表示不具有「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」,證據如下:①美國專利第6,860,793 號可證並非具有添加物之聚氨酯即具有「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」。

②Szycher 論文可知並非不具添加物之聚氨酯即不具「吸收或傳輸淤漿粒子之固有能力」。

⑶基此,原處分及訴願決定認為「不具添加物」之「堅硬的聚氨酯不具吸收或傳輸淤漿粒子之能力」云云,顯將證據2 中聚氨酯之抑制透光性添加物的有無錯誤理解為視窗材質的固有研磨能力,錯認只要聚氨酯不具添加物(亦即具有高透光性)即代表其無法吸收或傳輸淤漿粒子之固有研磨(拋光)能力,其論證顯屬錯誤。

2、綜上,證據2 並未揭露「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」之技術特徵,惟原處分竟以不具添加物、具透射性等而錯誤「推論」不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力,既然原處分經過層層推論,即顯非「直接且無歧異得知」,更何況原處分之前揭推論亦屬錯誤,殊無足採。

(二)況原處分及訴願決定對於證據2 的揭露更屬矛盾,且自行演繹證據2 中所無之內容:1、按原處分第(四)點引用證據2 說明書第17頁倒數第9 行所載之技術內容「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上對於雷射光束具有穿透性,其不含某些抑制透射性之添加物」,並據以稱「該聚氨酯插塞42係一固體的片材。

該證據二所揭之堅硬的聚氨酯插塞,不具添加物,熟悉該項技術者可瞭解該堅硬的聚氨酯不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」云云。

詎原處分又於第(九)、1 點中引用證據2 與前述相同之內容,但卻稱該內容「應為其含有某些抑制透射性之添加物之誤記」云云,顯與其先前之論述完全相反,顯有錯誤。

2、又訴願決定明知證據2 之揭露為「不含某些抑制透射性之添加物」,卻另外引用證據2之美國對應案即第5964643號專利而稱「墊片材料仍含有某些抑制透射性之添加物」云云,顯然違反辯論主義。

3、末者,原處分及訴願決定稱證據2 「第3C圖實施例之聚氨酯插塞不具添加物,以代替該區域之典型墊片材料」云云,惟觀諸證據2 之整份說明書,並無一處記載「第3C圖之聚氨酯不具添加物」,足證原處分及訴願決定係自行演繹證據2 所無之內容,顯屬違背法令。

(三)證據2 已明確揭示其視窗係一「插塞」,卻無任何關於「片材」之記載,原處分竟稱「該聚氨酯插塞42係一固體的片材」且「申請專利範圍第1項所載『該墊具有至少一個部分係由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成』係相同於證據2 所揭示之一聚氨酯片材或一堅硬的聚氨酯插塞」等顯非證據2 所揭露之內容,並進而判認系爭專利擬制喪失新穎性云云,其處分顯屬違法。

又證據2 之美國對應案中,通篇都使用「plug(中譯:插塞)」,而無使用「sheet (中譯:片材)」,依原處分之邏輯,更可證明證據2 所揭示者與系爭專利不同。

(四)系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項並未被證據2 所揭露,且與證據2 在目的、形狀、構造、功效等整體觀察上均屬不相同之發明,並無擬制喪失新穎性:1、系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項所載發明係一種用於積體電路晶圓之拋光墊,該等申請專利範圍所請之拋光墊主要具有下列共同技術特徵:該拋光墊是由兩個部分所構成,包括「透光之視窗(即第一部分)」以及「墊片(即第二部分)」。

又「透光之視窗(即第一部分)」是由一固體均勻聚合體片材所組成;

且該「透光之視窗(即第一部分)」不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力。

2、然而,證據2 揭示一種用於化學機械拋光操作之定位監測的方法及裝置(即「半導體設備」),與系爭專利之「拋光墊」已屬不同發明。

又證據2 所揭技術內容為如何利用通過「窗」(無論是將窗設置在旋轉平台上、以整個墊片作為「窗」、或是將窗設置在墊片中)的透射光束來進行晶片層均一性的監測,其僅記載「窗」具有透光性,而與墊片上之窗的製法、材質與性質無涉,更完全沒有揭示系爭專利中「由固體均勻聚合體片材組成」以及「不具吸收與傳輸淤漿粒子的固有能力」之技術特徵。

(五)證據2 係使用「堅硬的聚氨酯」非「堅硬均質的聚氨酯,詎參加人竟自行添加證據2 所無之用語,並將「solid 」改為「solid homogeneous 」,顯屬無據。

既然證據2 係使用「堅硬的聚氨酯」,而所謂補強證據3 係使用「堅硬均質的聚氨酯」,兩者所述內容顯非同一,則參加人及被告以兩者相互勾稽,實不可採。

(六)被告僅引「有添加物即有研磨能力」作為其依據,並進而推論證據2 「不含添加物即無研磨能力」云云,其推論邏輯顯有疑義,且與事實不符:證據2 究竟係揭露「包含」或「不含有」添加物,被告已前後矛盾,且證據2 說明書第17頁明揭「不含有」添加物卻有研磨能力,此已與被告之推論不符。

又擬制喪失新穎性僅能使用我國專利,證據2 之美國對應案既非我國專利,自不得作為本件證據,且該美國對應案,依其文義僅提及不添加例如尼龍微球體(nylon microspheres)之添加物,而非不含任何添加物,詎被告及參加人擴張證據2 美國對應案之內容,自無可採。

(七)綜上,證據2 並未揭示系爭專利「由固體均勻聚合體片材組成」的視窗、「不具傳輸或吸收淤漿粒子之固有能力」的視窗等技術特徵,與系爭專利並非相同發明。

(八)並聲明求為判決:原處分及訴願決定均撤銷。

三、被告抗辯:

(一)證據2足資證明系爭專利申請專利範圍第1、3、4項違反核准時專利法第20條第1項第2款之規定:1、系爭專利說明書第7 頁第23行至第8 頁第7 行揭示「固體聚合體塞之表面具有如US專利第5,489,233 號案所述之表面紋理或圖樣,如此,在其整個拋光墊表面之拋光作用係接近均勻。

除以上所提及之聚合物(聚氨基甲酸乙酯、丙烯、聚碳酸酯酯、尼龍及聚酯)外,可由聚氯乙烯、聚偏氟乙烯、聚醚石風、聚苯乙烯、聚乙烯及聚四氯乙烯等製成透明視窗。

此類視窗可藉由聚合體之鑄形及押出,隨後剪裁聚合體成所欲厚度及尺寸。」

亦即系爭專利之固體聚合體塞(視窗)係由聚氨基甲酸乙酯所製成,而證據2 之插塞亦係由一對於雷射光束具有高度透射性的聚氨酯(聚氨基甲酸乙酯之縮寫)製成。

由於系爭專利之固體聚合體塞(視窗)與證據2 皆由相同之材質所製成且皆是具高度透射性之特性,其所能達成之「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」之功效當然亦屬相同,否則若具吸收或傳輸淤漿粒子,則無法具有高度透射性。

2、又證據2 之美國對應案其說明書第6 欄第9 至12行所載內容,與證據2 說明書第17頁第19至21行所揭示大致相同,係記載「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上對於雷射光束具有透射性,其含有某些抑制透射性之添加物,如尼龍微球粒,會抑制透射性。

此一問題在描述於第3C圖中之本發明實施例中已被消除。

在此實施例中,覆於平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42代替。

其係由不含尼龍微粒之聚胺脂材料製成,以作為可供雷射光束使用之窗口,是以,經由該塞片42所穿透的雷射光束34之衰減將會降到最低的程度,此一插塞42係被一體成型於墊片18中。」

因此由證據2 之美國對應案可知含有「添加物」縱使其對光線具有透射性,惟含有某些抑制透射性之添加物,如尼龍微球粒,會抑制透射性。

亦即含有「添加物」之聚胺脂材料會影響透射性,因此證據2 之美國對應案第3C圖之發明態樣係「於平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42代替。

其係由不含尼龍微粒之聚胺脂材料製成,以作為可供雷射光束使用之窗口,是以,經由該塞片42所穿透的雷射光束34之衰減將會降到最低的程度,此一插塞42係被一體成型於墊片18中」。

因此原處分並無原告所稱「原處分及訴願決定對於證據2 的揭露更屬矛盾,且自行演繹證據2中所無之內容」之情事。

3、又原處分第(四)點,係直接引述證據2 說明書第17頁關於第3B圖之視窗材質的教導說明,原處分第(九)、1 點,則於引用該相同內容時,則善盡職權調查義務,進一步指出,參見證據2 之英文本可知,第3B圖「其不含某些抑制透射性之添加物」應為「其含有某些抑制透射性之添加物」之誤記(此由上述證據2 之美國對應案亦可佐證)。

因此原處分並無原告所稱「與先前之論述完全相反,顯有錯誤。」

之情事。

4、基於證據2 之說明書以及圖式的整體內容,證據2 第3C圖之插塞42,毫無疑問是一薄且平坦的片材。

且證據2 係揭示一種在拋光一基材時在原來的位置上(in-situ )測定其層之均一性的方法,其說明書第4 頁第6 至8 行述及「在製造現化之半導體積體電路(ICs )的程序中,需要在先前形成之層與構造上形成多種材料層以及構造。

但是,先前的成形往往使得在製品晶片(晶圓)的頂部表面地形高度不規則」。

其第3 圖揭示運用一終點偵測器產生一雷射光束34透過旋轉平台16所形成之孔30緊鄰的窗朝向晶片14上的該層,監測自該層反射之光束所造成的干涉信號,再由干涉信號計算出均一性。

旋轉平台16上覆有一拋光墊片18 , 拋光墊片具有一與平台形成接觸面之背襯層20,及一被化學研漿濕潤且與晶片形成接觸面之覆蓋層22。

該拋光墊片18之窗至少在晶片置於窗上面的期間提供一光束之通道以照射於該晶片上。

其說明書第5 頁第7 至9 行述及:「覆蓋層22通常為一開孔泡沫聚氨酯(例如RodelICl000),或者一片具有槽紋表面之聚氨酯(例如RodelIC2O00)」。

其說明書第16頁倒數第4 行起述及:「第3B圖繪示平台16和墊片16(應為18)的替代實施例。

在此實施例中,石英插入物已被去除且為有通孔存在於墊片18中。

在置於平台16中之孔30上的區域墊片18之背襯層20(如果存在)已被除去。

僅留下墊片18的聚氨酯覆蓋層22在晶片14與平台16底部之間。

業已發現使用在覆蓋層22中的聚氨酯材料大體上可透射來自雷射干涉儀32之雷射光束34」。

其說明書第17頁第13至15行述及:「可注意到的是利用敞開式或開槽式表面之墊片型態已證明雷射光束相對於開槽式表面墊片減弱地較少。

因此,最好使用此型態的墊片」。

其說明書第17頁倒數第9 行述及:「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上對於雷射光束具有穿透性,其不含有某些抑制透射性之添加物。

此一問題在描述於第3C圖中之本發明實施例中已被消除。

在此實施例中,覆於平台孔30 上 方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42 代 替」。

其說明書第7 頁第13至14行述及:「此插塞最好係由一對於雷射光束具有高度透射性的聚氨酯製成」。

因此,在第3C圖的實施例中,覆於平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42代替。

因為第3C 圖 之實施例中該插塞為「聚氨酯」,該聚氨酯插塞42係一固體的片材。

該證據2 所揭示之堅硬的聚氨酯插塞,不具添加物,熟悉該項技術者可瞭解該堅硬的聚氨酯不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力。

其說明書第31頁最後一段至第32頁第一段述及:「至於雷射光束之波長,可利用從遠紅外線至紫外線區間的波長…選擇的理由有兩重,首先…波長愈長散射愈少。

但是…波長愈短,一週期中被切削之材料愈少。

合意的是在每一週期期間所切削之材料愈少愈好,俾使得任何過量材料被切削的可能性減至最少。

…咸信如果選擇紅光雷射光束則在波長的選擇中這兩種相抗因素中有最佳的平衡。

紅光提供一可接受程度的散射,同時不會造成每一週期有過量之材料被切削」。

由上述可知系爭專利申請專利範圍第1項所載「一種用於積體電路晶圓之拋光墊」等同於證據2 所揭示一種用於積體電路晶圓之拋光墊18。

系爭專利申請專利範圍第1項所載「該墊具有一個部分係由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成」係相同於證據2 所揭示之一聚氨酯片材或一堅硬的聚氨酯插塞。

系爭專利申請專利範圍第1項所載「波長在190 至3500nm範圍間之光」相同於證據2 所揭示之「至於雷射光束之波長,可利用從遠紅外線至紫外線區間的波長」(第31頁第23至24行)以及「如果選擇紅光雷射光束則在波長的選擇中這兩種相抗因素中有最佳的平衡」(第32頁第12至13行)。

由於遠紅外線至紫外線區間的波長包含000-0000nm之間波長範圍的光,而紅光的波長亦落在000-0000nm之間波長範圍內。

因為證據2 已揭示可利用從遠紅外線至紫外線區間的波長,而等同於已揭示系爭專利申請專利範圍第1項所請之「波長在190 至35 00nm 範圍間之光」。

且舉發附件7亦揭示常見雷射光之波長範圍係在000-0000nm之間波長範圍。

因此系爭專利申請專利範圍第1項所請求之發明係為證據2 所揭露,擬制喪失新穎性。

5、證據2 之說明書第5 頁第7 、8 行揭示「覆蓋層22通常為一開孔泡沫聚氨酯(例如,Rodel IC1000)」。

因此證據2 實質上已揭示系爭專利申請專利範圍第3項之「該墊含一個由該透光之固體均勻聚合體片材所組成之第一部分,以及一個由微孔聚胺基甲酸乙酯結構所組成之第二部分」,可證明系爭專利申請專利範圍第3項擬制喪失新穎性。

證據2 之說明書第5 頁第7 、8 行揭示「覆蓋層22通常為一開孔泡沫聚氨酯(例如,Rodel IC1000)」,熟悉該技術領域之人士應了解,泡沫材料係藉由吹入空氣而形成,而固體材料與泡沫聚氨酯之組合本質上就是一複合結構,因此泡沫聚氨酯為膨脹的複合聚氨酯結構,故系爭專利申請專利範圍第4項之「該墊含有一個由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成之第一部分,以及一個由充填或膨脹之複合聚胺基甲酸乙酯所組成之第二部分」已為證據2 所揭露,擬制喪失新穎性。

6、綜上說明,證據2 足資證明系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項違反核准時專利法第20條第1項第2款之規定。

(二)並聲明求為判決:駁回原告之訴。

四、參加人部分:

(一)系爭專利申請專利範圍之用語「固體均勻聚合體片材」,依其說明書之揭露,所述「固體均勻聚合體片材」先天上「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」且「具有透光性」:1、依系爭專利說明書第5 頁最後一段「發明摘要」所述,系爭專利旨在提供一種用於拋光矽晶片用之機械的墊,當拋光晶片時,該墊可進行晶片表面狀態之偵測。

為達成上述目的,系爭專利利用「固體均勻聚合體片材」作為窗,以用於光學偵測,因此「固體均勻聚合體片材」必須「具透光性」。

關於此「固體均勻聚合體片材」之材料選擇,根據系爭專利說明書第6 頁第2 至5 行即「發明詳細說明」段落所述,其可為詳述於證據3 (US5,489,233 )中之聚合體。

系爭專利於說明書第6 頁第7 至11行解釋使用此類固體均勻聚合體片材係達成「具透光性」之目的所採用的手段,習知技藝之墊的結構的「非均勻部(non-uniformities)」會造成光線無法通過,故系爭專利使用固體均勻聚合體片材消除光線無法通過(不透光)之問題。

另,此「非均勻部」即為墊之大體結構中的孔隙與添加物(諸如微小球體「microballoon,或可譯為微氣球」)。

2、「具透光性」以及「不具固有拋光能力」皆是「固體均勻聚氨酯(聚合體)片材」的先天性質:⑴按照系爭專利之說明書所述,用以解決光線無法通過「不透光」之問題的「固體均勻聚合體片材」(諸如固體均勻聚氨酯片材)之先天性質包括「不具固有拋光能力」以及「具透光性」,依系爭專利說明書第6 頁第3 至5 行所述,於US5,489,233 所揭露之彼等「固體均勻聚合體片材」不具吸收或傳輸淤漿粒子之能力。

⑵此外,系爭專利說明書第6 頁第13至17行提及:「如US專利5,489,233 號案所指出,此種墊可為包含聚乙烯甲酸酯『原文為polyurethane,故應即亦可譯為「聚氨酯」』、聚丙烯、聚碳酸酯、尼龍及聚酯等之任何固體均勻聚合體所製成。

由於其等為具190 至3500nm之波長範圍之光可通過的聚合體所製成,而製成可同步使用如干涉計之端點偵測的光學方法之墊」。

⑶根據如上所提及之系爭專利說明書段落,可知「不具固有拋光能力」以及「具透光性」是系爭專利申請專利範圍第1項所記載之「固體均勻聚合體片材」(諸如固體均勻聚氨酯片材)的先天性質。

(二)根據系爭專利之說明書之解釋,其申請專利範圍中所用之用語「均勻」即指「不具孔隙與添加物」:系爭專利之說明書第6頁第7至11行敘明:「所有習知技藝之墊的大體結構為纖維所製成,含有填充以微小球體或製造中進氣所造成之孔隙,或是填充有研磨『即拋光』料。

儘管習知技藝之墊可為固體聚合體所製成,因其非均勻結構並會嚴重地散射……。」

此外,系爭專利以引述的方式列入本文所參考引用之證據3 於第2 欄第37至48行揭露「表面微紋理係源自墊製造過程中所刻意引入的主體的非均勻部」,並且於第2 欄第49行至第3 欄第2 行以及第6 欄第65行至第7 欄第1 行揭露各種習知的具表面微紋理之墊的內部結構為具有添加物及/ 或孔隙(非均勻部)。

由此可知,系爭專利所屬之技術領域中,「非均勻」即指「具有添加物及/ 或孔隙」。

因此,系爭專利所要求之「均勻」即為「不具孔隙與添加物」。

(三)在系爭專利申請前,發明所屬技術領域中具有通常知識者即能直接而無歧異地瞭解證據2揭露作為拋光墊之窗係「固體均勻聚氨酯」:1、對照證據2之外文說明書,可得知證據2中文說明書第17頁所述之「其不含有某些抑制透射性之添加物」應為「其『含有』某些抑制透射性之添加物」之誤記。

2、證據2 及證據3 均已揭露solid homogeneous ,世人均知諸如一片solid homogeneous 聚氨酯之聚合物不具吸收或傳輸淤漿之能力。

再者,證據2 於中文說明書第7 頁第13至14行揭露「插塞最好係由一對於雷射光束有高度透射性的聚氨酯製成」,且於中文說明書第17頁第19至20行揭露「覆於平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42代替」;

又,習知技藝中,堅硬的聚氨酯插塞必然為固體。

因此,基於上述段落,發明所屬技術領域中具有通常知識者能瞭解證據2 要求其窗必須是對雷射光束有高度透射性的聚氨酯插塞。

在系爭專利申請前的技術背景下(即證據3 ),發明所屬技術領域中具有通常知識者瞭解,倘若聚氨酯中具有「非均勻部」(諸如添加物),此非均勻部會因嚴重散射光線而影響透射性。

因此,在系爭專利申請前,發明所屬技術領域中具有通常知識者可以理解,證據2 的具有高透射性的固體聚氨酯必須是均勻的;

換言之,該聚氨酯中必須不具有添加物與孔隙。

3、證據2 提及第3C圖之實施例消除「添加物抑制窗之透射性」的問題,且證據2 說明書第17頁倒數第6 行至倒數第5行之內容,已指出覆於平台孔30上方之區域中之典型墊片材料(例如第3B圖中之覆蓋層22)係被一堅硬的聚氨酯(即『solidhomogeneous』)插塞43代替。

另證據2 於中文說明書第5 頁第7 至8 行揭露「覆蓋層22通常為一開孔(open-cell )泡沫聚氨酯(例如,Rodel IC1000)」,已知Rodel IC1000是由填充有微氣球的聚氨酯製成,而孔隙即由該微氣球之中空內部所造成。

足見證據2 的聚氨酯中必須不具有諸如微氣球之添加物,否則會抑制透光性。

準此,證據2 說明書第3C圖之插塞(窗)缺乏添加物與孔隙,即該插塞即為固體均勻聚氨酯。

4、證據2於中文說明書第17頁第18至19行揭露「覆於平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42代替」。

證據2並未進一步揭露該插塞中存在任何其他材料或結構性特徵。

發明所屬技術領域中具有通常知識者在參閱證據2 之中文說明書時,會預期該中文說明書正面表列該插塞之材料與結構。

當發明所屬技術領域中具有通常知識者參閱證據2 之中文說明書,見到對於聚氨酯之敘述,且發現中文說明書中無對於窗之其餘材料及進一步結構的探討,會直接而無歧異地瞭解該窗為純質的聚氨酯,無任何添加物與孔隙,且能夠瞭解證據2 要求使用固體均勻聚氨酯作為拋光墊之窗。

(四)證據2 之外文說明書應視為證據2 所揭露之內容的一部分,可用於解釋證據2 之不明確之記載:1、證據2 之外文說明書為取得申請日之文件,且為公眾所能取得之公開文件,故應視為證據2 所揭露之內容的一部分。

2、證據2 之外文說明書已揭露系爭專利申請專利範圍第1項之「固體均勻聚合體」之技術特徵:⑴根據證據2 之外文說明書第18頁第3 至7 行,可知證據2實則揭露「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上對於雷射光束具有透射性,其確實含有某些抑制透射性之添加物。」

此外,關於插塞42之材質與結構,可由證據2 之外文說明書第18頁第10至14行進一步釐清,該段落描述如下:「此插塞42作為雷射光束之窗,由缺乏周圍墊材料之溝紋(或開孔『open-cell 』結構)的聚氨酯材料製成,且無抑制透射性之添加物。」

由於該堅硬(固體)聚氨酯插塞42缺乏孔隙(即開孔結構)及添加物,換言之,缺乏不均勻部,故此聚氨酯是均勻的。

⑵儘管證據2 之中文說明書揭露「堅硬聚氨酯插塞」,但證據2 之外文說明書中相對應段落揭露「solidpolyurethan e plug」。

「solid polyurethane plug 」可解釋成具備下述性質之聚氨酯插塞:「其內無孔隙、且其完全為單一材料(聚氨酯)」,即「不具孔隙、無雜質」。

此聚氨酯插塞可視為「均勻」,故證據2 之外文說明書足以佐證證據2 揭露之「堅硬聚氨酯插塞」為「固體均勻聚氨酯插塞」。

因此,系爭專利之申請專利範圍第1項之技術特徵「固體均勻聚氨酯片材」已被證據2 所揭露。

(五)原告提出之原證1至原證5不具證據能力或證據力,無法據以否定「固體均勻」(不具添加物)、「透光」、「缺乏拋光能力」等特徵之間無必然關聯性。

(六)補強證據3至補強證據7用於解讀系爭專利之申請專利範圍中所記載之用語,及解釋系爭專利申請前之技術背景,而非用於與證據2組合以否定系爭專利之新穎性。

(七)綜上所述,發明所屬技術領域中具有通常知識者能夠直接而無歧異地從證據2 之中文說明書中得知證據2 之堅硬聚氨酯插塞必為「固體均勻聚氨酯」。

再者,證據2 之外文說明書為證據2 所揭露之內容的一部分,亦揭露該「solid polyurethane plug 」缺乏添加物與孔隙,即該插塞為固體均勻聚氨酯,故系爭專利申請專利範圍第1 、3、4 項所載之所有技術特徵,皆已為證據2 揭露在案,因此系爭專利違反核准時專利法第20條第1項第2款之規定。

被告原依同法第71條第1款作成撤銷系爭專利專利權之處分,即無違誤。

(八)並聲明求為判決:駁回原告之訴。

五、上開事實概要欄所述之事實,為兩造所不爭執,並有系爭專利說明書(見舉發卷第1 至10、166 頁)、系爭專利證書(見本院卷第163 頁)、專利舉發申請書(見舉發卷第17至18頁)、專利更正申請書(見本院卷第164 背頁至165 頁)、經濟部智慧財產局專利舉發審定書(見本院卷第23至31頁)、經濟部訴願決定書(見本院卷第32至40頁)在卷可稽,堪認為真正。

六、經核本件兩造爭點為證據2 是否足以證明系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項有違核准時專利法第20條第1項第2款之規定?本院判斷如下:

(一)查系爭專利係於85年8 月27日申請,經審定核准專利後,於87年9 月11日公告等情,有系爭專利證書及專利說明書附卷可參(見本院卷第163 、164 背頁至165 頁、舉發卷第1 至10頁),因此,系爭專利有無撤銷之原因,應以核准審定時即83年1 月21日修正公布之專利法為斷(下稱83年專利法)。

次按利用自然法則之技術思想之高度創作,而可供產業上利用者,固得依法申請取得發明專利,然若有相同之發明或新型申請在先並經核准專利者,不得取得發明專利,同法第19條、第20條第1項及第1項第2款分別定有明文。

而發明有違反同法第20條第1項第2款規定者,任何人得附具證據,向專利專責機關舉發之。

準此,系爭專利有無違反同法第20條第1項第2款所定情事而應撤銷其專利權,依法應由舉發人(即參加人)附具證據證明之,倘其證據足以證明系爭專利有違前揭專利法之規定,自應為舉發成立之處分。

(二)系爭專利之技術內容:1、系爭專利發明之主要目的,在「提供一種用於拋光矽晶片用之機器中的墊,當拋光晶片時,該墊可進行晶片表面狀態之偵測。

其完成係藉由在不具有吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合物片材上建構一完整或部分之墊,且其可為光學方法中用以偵測晶圓表面狀態之光所通過。

適用於建構此種墊之聚合物係可為190 至3500nm波長之光線所通過。」

(見舉發卷第8 頁系爭專利說明書中文摘要)。

2、系爭專利於99年2 月4 日申請更正,經智慧局核准更正並於101 年12月11日公告,是其更正溯及自申請日生效,本件應以更正後之申請專利範圍為審理,又更正後之系爭專利申請專利範圍共計5 項,其中第1 、3 至5 項為獨立項,第2項 為依附於第1項之附屬項,參加人主張系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項擬制喪失新穎性,是本院僅就系爭專利申請專利範圍第1 、3 、4 項為審理,上開請求項之申請專利範圍如下:⑴第1項:一種用於積體電路晶圓之拋光墊,該墊具有一個部分係由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成,該聚合體片材可為波長在190 至3500nm範圍間之光所通過。

⑵第3項:一種用於積體電路晶圓之拋光墊,該墊含一個由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成之第一部分,以及一個由微孔聚胺基甲酸乙酯結構所組成之第二部分,該聚合體片材可為波長在190 至3500nm範圍間之光所通過。

⑶第4項:一種用於積體電路晶圓之拋光墊,該墊含有一個由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成之第一部分,以及一個由充填或膨脹之複合聚胺基甲酸乙酯所組成之第二部分,該聚合體片材可為波長在190 至3500nm範圍間之光所通過。

(三)本件舉發證據之說明:1、證據2 之技術內容(見舉發卷第59至131頁):⑴證據2 為88年9 月11日公告之我國第85104954號「用於化學機械拋光操作之定位監測的方法及裝置」專利案,其公告日雖晚於系爭專利申請日(85年8 月27日),但其申請日(85年4 月25日)早於系爭專利申請日,故可執為系爭專利核准審定時所適用之83年專利法第20條第1項第2款的引證資料。

⑵證據2 係「揭露一種在拋光一基質上之層期間原地測定其均一性的方法,此方法包括之步驟有使一光束在拋光期間導向該層;

監測由自基質反射之光束所造成之干涉信號;

以及由干涉信號計算出均一性之尺寸」。

其主要示意圖如附圖一所示。

2、證據3 之技術內容(見舉發卷第52至58頁):⑴證據3 為西元1996年2 月1 日公告之美國第5,489,233 號「PO LISHING PADS AND METHODS FOR THEIR USE 」專利案。

其為明確記載於系爭專利說明書第6 頁第2 至4 行(見舉發卷第5 頁)之納入參考之相關專利案。

⑵證據3 係「提供一種改良型研磨墊,係在不具有本質上能吸收或傳輸研磨漿顆粒能力的固態均勻聚合物片表面,同時設置有大小流通道的紋理或圖案以使研磨漿橫越研磨墊表面,而該流通道不是材料結構的一部分而是由機械製造而成的。

在一較佳的發明,研磨墊表面的紋理包括一使用前形成的宏觀紋理,以及一在使用過程定時運用具凸出物研磨工具所形成的微觀紋理。」

其主要示意圖如附圖二所示。

3、證據4 之技術內容(見舉發卷第50至51頁):證據4 為西元1993年Rodel 公司(現為羅門哈斯電子材料CM P控股公司)發行之型錄影本。

其公開日早於證據2 申請日西元1996年4 月25日,得為證據2 申請當時之既有技術之佐證資料。

其主要示意圖如附圖三所示。

4、證據5 之技術內容(見舉發卷第47至49頁):證據5 為西元1995年John Wiley及Sons,Inc. 所發行之John D.Cutnell, Kenneth W. Johnson著「Physics 」,3rd Ed. 之 部分頁數影本。

其公開日早於證據2 申請日西元1996年4 月25日,得為證據2 申請當時之既有技術之佐證資料。

其主要示意圖如附圖四所示。

5、證據6 之技術內容(見舉發卷第44至46頁):證據6 為1962年由W.H. Freeman and Company所發行之Pau Lorrain,Dare R. Corson著「ElectromagnetieFields and Waves」,2nd Ed.之部分頁數影本。

其公開日早於證據2 申請日西元1996年4 月25日,得為證據2 申請當時之既有技術之佐證資料。

其主要示意圖如附圖五所示。

6、證據7 之技術內容(見舉發卷第41至43頁):證據7 為1984年Brooks/Cole Publishing Company所發行之John McMurry著「Organic Chemistry 」之部分頁數影本。

其公開日早於證據2 申請日西元1996年4 月25日,得為證據2 申請當時之既有技術之佐證資料。

其主要示意圖如附圖六所示。

(四)證據2不足以證明系爭專利申請專利範圍第1項擬制喪失新穎性:1、按「(3) 判斷發明有無新穎性時,應以發明之技術內容比對是否相同( 含能由熟習該項技術者直接推導) 為準。

不相同即具有新穎性;

相同即不具新穎性。

(4) 比對方式,應採單獨比對方式,以個別獨立的引證資料與請求項所載發明進行比對…」(83年審查基準第1-2-6 頁,判斷新穎性之基本原則);

「…所指之發明,固然皆係指先、後申請案所載申請專利範圍之『請求項所載發明』而言。

惟當後申請案之發明,雖未記載於先申請案之申請專利範圍中,但已揭露於先申請案之發明說明或圖式內時,基於先申請案之發明在審定公告前,申請人尚得依專利法第四十四條第一項規定,將記載於發明說明或圖式內,而未記載於申請專利範圍中之發明,補充修正於申請專利範圍中,因此在認定先申請案之發明是否為本條款所規定之『相同之發明』時,除應考量其申請專利範圍外,凡在發明說明或圖式中有記載之發明,亦包涵在內。」

(83年審查基準第1-2-12至1-2-13頁,I 有相同之發明);

「由於『申請在先並經核准專利』之發明,在後申請案申請當日之前,尚未公告於專利公報,因此後申請案之發明並無申請前已見於刊物之情事,依理於申請當日應無不具有新穎性的道理,惟法律為顧及專利權之專用排他性及一發明一專利原則,乃將此等先申請案所記載之發明以法律擬制(legalfiction)為既有技術,而使後申請案之發明不具新穎性,故此項規定,僅能適用於考量新穎性之用,不得作為考量進步之用。」

(83年審查基準第1-2-13頁,II有相同之發明);

「『先申請並經核准專利之發明案或新型案所記載之技術』,應就該先申請案之說明書或圖式所記載之事項來認定。

其認定可參酌該先申請案申請當時之既有技術。

如參酌該先申請案申請當時之既有技術而可導出之事項,亦可作為『先申請並經核准專利之發明案或新型案所記載之技術』之認定基礎。」

(83年審查基準第1-2-17至1-2-18頁,新穎性判斷用之引證資料類型及認定理由(3) )足見擬制喪失新穎性,係法律為顧及專利權之專用排他性及一發明一專利原則,乃將先申請案所記載之發明以法律擬制為既有技術,而使後申請案之發明不具新穎性。

並應就先申請案之說明書或圖式所記載之事項,以及在先申請案申請當時之既有技術而可導出之事項,來認定後申請案之發明是否擬制喪失新穎性。

2、關於證據2 所揭露內容之認定:⑴證據2說明書第5頁第2至8行(見舉發卷第127頁)揭示:「如第1圖所示,一典型之CMP裝置10包括一拋光頭12以將半導體晶片維持抵觸拋光台板16。

拋光台板16係覆蓋一墊片18。

此墊片18典型地具有一與台板形成接觸面之背襯層20以及一與一化學拋光淤漿同時被利用之覆蓋層22以將晶片14拋光。

但是,有些墊片僅有一覆蓋層而沒有背襯層。

覆蓋層22通常為一開孔泡沫聚氨酯(例如,Rodel IC1000)或者一片具有槽紋表面之聚氨酯(例如,Rodel IC2000 )。」

可知Rodel IC1000為證據2 申請前已為可用於研磨半導體晶片之研磨墊,其材質係為開孔泡沫聚氨酯。

⑵關於插塞的材質及在墊片中的位置:①證據2說明書第7頁第10至14行(見舉發卷第125 頁)記載:「窗可採取一形成在墊片之覆蓋層中且不具有背襯層的插塞形式。

此插塞最好係由一對於雷射光束有高度透射性的聚氨酯製成。」

以及第21頁第5 至7 行(見舉發卷第111 頁)記載:「此一問題的一種解決方式是將平台孔沿著平台旋轉方向沿伸。

易言之,窗構造66'(即,插入物,墊片或插塞) 將採取一弧形的形狀,如第7圖中所示。」

可知插塞最好是由對於雷射光束有高度透射性的聚氨酯製成,並位僅位於墊片之覆蓋層中,其形狀可以成弧形沿著平台旋轉方向沿伸。

②證據2說明書第17頁第13至14行(見舉發卷第115頁)記載:「可注意到的是利用敞開式和開槽式表面之墊片型態已證明雷射光束相對於開槽式表面墊片減弱地較少。

因此,最好使用此型態之墊片。」

可知證據2 已教示就雷射光被墊片減弱的程度而言,開槽式表面墊片小於敞開式墊片。

③證據2說明書第17頁第16至21行(見舉發卷第115頁)記載:「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上對於雷射光束具有透射性,其不含有某些抑制透射性之添加物。

此一問題在描述於第3C圖中之本發明實施例中已被消除。

在此實施例中,覆於平台孔30上方之區域中的典型墊片材料已被一堅硬的聚氨酯插塞42代替。

此一插塞42係被一體成型於墊片18中。」

可知堅硬的聚氨酯插塞42被一體成型於墊片18中,可以消除如第3B圖中所示使用典型墊片覆蓋層的雷射光束透射性的問題。

⑶關於雷射光波長範圍:①按在擬制喪失新穎性判斷用之引證資料認定時,認定先申請案說明書或圖式所記載之事項,可參酌該先申請案申請當時之既有技術(參83年審查基準第1-2-17至1-2-18頁)。

查證據5 、7 為證據2 申請前之教課書摘印內容,可為證據2 申請當時之既有技術。

證據2 已揭露了使用紅色雷射光束之波長的技術,但並未明確揭示其波長範圍,然而紅光波長範圍為一通常知識,證據5 、7其作用僅是提供紅光波長的確實範圍,並未引進證據2所揭露內容以外的技術,自可用以佐證證據2 已揭露的事實。

②查證據2 說明書第32頁第12至13行(見舉發卷第100 頁)記載:「咸信如果選擇一紅光雷射光束則在波長的選擇中這兩種相抗因素有最佳的平衡…」其中紅光雷射之波長參酌證據5 第3 頁記載紅光頻率約4.0 ×1014及其公式(c=fλ) ,換算約為750nm(3 ×1010 [cm/sec] ÷4 ×1014 [1 /sec]=7.5×10-5[cm]=750nm) ;

或證據7第3 頁最後文段揭示光波長為3.8 ×10-5cm到7.8 ×10-5cm,可知波長較長的紅光波長為7.8 ×10-5cm即780nm 。

3、系爭專利申請專利範圍第1項與證據2技術比對說明(如附表一所示):⑴經比對系爭專利申請專利範圍第1項與證據2 ,系爭專利為一種用於積體電路晶圓之拋光墊(對應於證據2 之平台墊片18,第3C圖),該墊具有一個部分係由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成(證據2 為堅硬的聚氨酯插塞42,第3C圖,第17頁第19至20行)(見舉發卷第115 頁),該聚合體片材可為波長在190至3500nm範圍間之光所通過(對應於證據2 之紅光雷射,紅光波長參酌證據5 為750nm 、證據7 為780nm )(見舉發卷第100 頁)。

⑵按83年專利審查基準第1-2-6 頁規定:「判斷發明有無新穎性時,應以發明之技術內容比對是否相同(含能由熟習該項技術者直接推導)為準」,其所謂「直接推導」,是指一個單一的先前技術,雖然沒有完整揭露一個申請專利所有的限制要件,但如果該未揭露的部分係為該先前技術本質上所固有的或必然存在於該先前技術中,而由熟習此技術領域之人士之觀點,可以認為該先前技術所未揭露之部分係可認定必然包含在該等先前技術中者即屬之;

亦即新穎性中所謂「含直接推導」部分,除先前技術文字的記載形式或能直接且無歧異得知之技術特徵者當然包括外,係指先前技術中雖未記載但卻為其本質上所固有,可以直接置換之技術特徵或先前技術係下位概念之技術內容而言(最高法院院96年度判字第1743、1744、1875號、98年度判字第1003號、1032號等判決參照)。

查證據2 僅揭示堅硬的聚氨酯插塞42,熟習該項技術領域者無法依申請當時的既有技術直接認定其本質上必然具有、或能直接且無歧異得知證據2之聚氨酯「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」,亦即系爭專利該項技術特徵無法由證據2 所直接推導而來(詳後述),故證據2 尚難謂足以證明系爭專利申請專利範圍第1項擬制喪失新穎性。

4、被告雖稱:「…因為第3C圖之實施例中該插塞為『聚氨酯』,該聚氨酯插塞42係一固體的片材。

該證據二所揭示之堅硬的聚氨酯插塞,不具添加物,熟悉該項技術者可瞭解該堅硬的聚氨酯不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力。

…」(見本院卷第25、96頁)、「…亦即系爭專利之固體聚合體塞(視窗)係由聚氨基甲酸乙酯所製成,而證據二之插塞亦係由一對於雷射光束具有高度透射性的聚氨酯(聚氨基甲酸乙酯之縮寫)製成。

由於系爭專利之固體聚合體塞(視窗)與證據二皆由相同之材質所製成且皆是具高度透射性之特性,其所能達成之『不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力』之功效當然亦屬相同。

否則若具吸收或傳輸淤漿粒子,則無法具有高度透射性。

…」(見本院卷第31、94背頁)云云,惟查:⑴縱如被告所稱證據2 揭示「堅硬的聚氨酯不含添加物」可採,然參酌系爭專利說明書第7 頁第15至22行(見舉發卷第4 頁)之記載:「同樣可以將視窗插入任何目前所用於積體電路晶片化學機械拋光之拋光墊。

此種墊之態樣如內含甲酸乙酯之聚酯墊、市售之微孔氨基甲酸乙酯墊如Delaware Newark, Rodel Inc之Politex ,及同樣DelawareNewark, Rodel Inc 所製之如IC系列及MH系列的充填及/或膨脹複合氨基甲酸乙酯,此種墊非由本身不具吸收或傳輸淤漿粒子能力之固體聚合體片材所製成,其等係藉由可傳輸淤漿之含孔性質。」

可知不含添加物的固體氨基甲酸乙酯聚合體也有可能因包含孔隙而「具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」。

是以,在沒有適當的證據2 申請當時之既有技術可供參酌的情況下,亦尚難謂能由被告所稱「堅硬的聚氨酯不含添加物」直接導出系爭專利申請專利範圍第1項所記「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」。

⑵再者,證據2 第7 頁第10至14行揭示「插塞最好係由一對於雷射光束有高度透射性的聚氨酯製成。」

(見舉發卷第12 5頁),聚氨酯具有「對於雷射光束有高度透射性」與「具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」,文字上即屬不相同的性質,其是否為直接必然關係,在沒有適當的證據2申請當時之既有技術可供參酌的情況下,尚難謂為能由「具有對於雷射光束有高度透射性」即可直接導出「具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」。

此外,參酌證據4 第1 頁(見舉發卷第51頁)所記之「IC is a microporouspolyureth ane materia l …」、「Manufactured fromRODEL's proprietary polyuretha ne ….thatincorporates a unique, vertically-oriented porestructure 」,均屬含有微孔的聚氨酯(polyurethane)材料,復參酌系爭專利說明書第7 頁第15至22行(見舉發卷第4 頁)之記載,可知證據4 所揭示之聚氨酯拋光墊因含孔性質而具備吸收或傳輸淤漿粒子能力。

證據2 所揭示之插塞材質與系爭專利之固體均勻聚合體之材質雖然同為聚氨酯,但有可能因聚氨酯含孔性質而具備吸收或傳輸淤漿粒子能力,因此尚難由具有相同的聚氨酯材質,即可直接導出具有相同的「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」之功效。

5、參加人雖謂:證據2 及證據3 已揭示聚氨酯為solidhomogeneous ,因此不具吸收或傳輸淤漿粒子能力,且證據2 提及第3C圖之實施例乃在消除「添加物抑制窗之透射性」的問題,足見證據2 要求其窗必須是對雷射光束有高度透射性的聚氨酯插塞,故可理解證據2 具有高透射性的固體聚氨酯必須是均勻的,換言之,該聚氨酯中必須不具有添加物與孔隙云云,惟查:⑴homogeneous 意旨「均勻」,然證據2 說明書第17頁第20行僅記載「堅硬的聚氨酯」,並無「homogeneous 」或「均勻」之記載,參加人所指容有誤會。

再者,新穎性之判斷基本原則係以個別獨立的引證資料進行比對,證據3 為系爭專利說明書併入參考的資料,難謂係證據2 申請時之既有知識,因此當然不得將證據3 所記載「solid homogeneous 」聚氨酯合物不具有拋光能力之技術,視為是證據2 已揭露事項的一部分,進而與系爭專利申請專利範圍第1項進行比對。

因此,參加人上開主張並無理由。

⑵再者,觀之證據2 說明書第7 頁(見舉發卷第125 頁),其乃係說明拋光墊之窗採取形式,包括(1) 安裝於平台孔內之插入物( 第5 至10行) ,(2) 除去相鄰之背襯層的拋光墊片之一部分( 第10至12行) ,以及(3) 形成在墊片之覆蓋層中且不具有背襯層的插塞。

再對照證據2 說明書第17頁的內容前後文觀之(見舉發卷第115 頁),自第16頁至17頁所記內容乃係分別對應於上述第7 頁(1 )至(3) 內容的實施例詳細說明。

亦即,證據2 說明書第17頁之堅硬(固體)聚氨酯乃係對應於第7 頁上述(3) 形式:插塞必須高度透光聚氨酯的詳細技術或是具體的實施例。

換言之,證據2 第7 頁之「插塞最好係由一對於雷射光束有高度透射性的聚氨酯製成」,所對應的詳細技術即為第17頁之使用係不含添加物堅硬(固體)聚氨酯,兩者所指為同一技術,證據2 並未進一步揭露高度透光聚氨酯,係不含孔隙的聚氨酯的詳細技術。

因此,尚難直接推導出參加人所稱「證據2 具有高透射性的固體聚氨酯必須是均勻的;

換言之,該聚氨酯中必須不具有添加物與孔隙」。

⑶此外,證據2 說明書第17頁第16至21行(見舉發卷第115頁)記載:「雖然使用在墊片之覆蓋層中的聚氨酯材料實質上對於雷射光束具有透射性,其不含有某些抑制透射性之添加物。

此一問題在描述於第3C圖中之本發明實施例中已被消除。」

其所稱「不含」,對照前後文,雖可認係「含有」之誤,然縱如此,其語意上僅能推知在第3C圖實施例係藉由移除抑制透射性添加物之方式消除第3B圖中所示使用典型墊片覆蓋層的雷射光束透射性的問題,但尚無從進一步推導出該聚氨酯除不含添加物外亦不含孔隙,或者其為固體均勻,自難認定其因此「不具吸收或傳輸淤漿粒子能力」。

6、參加人又謂證據2 並未進一步揭露該插塞中存在任何其他材料或結構性特徵,是發明所屬技術領域中具有通常知識者會直接而無歧異地瞭解該窗為純質的聚氨酯,無任何添加物與孔隙云云。

然說明書未揭露插塞中存在任何其他材料或結構性特徵,並不代表即無任何其他材料或結構性特徵存在於插塞中,由該領域中之通常知識可知聚胺酯可以在製造的過程中包覆反應所產生的氣體,證據2 也未特別強調插塞42係使用不包覆反應所產生的氣體的製造技術,故不能直接推導得知證據2 所揭示之插塞為純聚氨酯,自亦無法進一步推導出其不含添加物及孔隙,參加人上開主張並無足採。

7、此外,參加人雖主張證據2 申請時之外文說明書應視為證據2 揭露內容之一部分,可用於解釋證據2 不明確之記載,足以佐證據2 所揭露之「堅硬聚氨酯插塞」為「固體均勻聚氨酯片材」等(見本院卷第190 背至192 頁)云云。

惟查:⑴按核准時專利法第20條第1項第2款所謂「申請在先並經核准專利者」,基於我國專利法所採屬地主義之意旨,解釋上應指在我國申請在先且嗣後在我公告者而言,因此擬制喪失新穎性之引證案應限於本國申請案,先予敘明。

再者,證據2 申請時雖以外文本提出,依核准時中央標準局之專利閱卷作業要點,於證據2 中文本公告時亦屬於公開狀態,然而證據2 既依核准時專利法第23條規定補正中文本並經審查核准專利,所核准之對象乃為中文說明書及圖式,而非外文說明書及圖式,故證據2 之內容自應以公告之中文說明書及圖式所載內容為主,無參酌原文說明書之餘地,況觀之證據2 中文說明書第17頁第16至17行及其前後文內容,並無明顯不明確或不通順處,參加人認應將證據2 外文說明書視為證據2 揭露內容之一部分以補證據2 不明確之處云云,自屬無據。

⑵再者,所謂「誤譯」係指將外文之語詞或語句譯成中文之語詞或語句的過程中產生錯誤,亦即外文本有對應之語詞或語句,但中文本未正確完整翻譯者;

外文本之某些段落其相關內容未見於中文對應本時,非屬外文之語詞或語句於翻譯成中文之語詞或語句的過程中產生錯誤,並無誤譯訂正之適用。

茲對照證據2 中文說明書第17頁第20至21行(見舉發卷第115 頁),與證據2 外文說明書第18頁第10至17行(見本院卷第253 背頁)的內容,中文說明書中並未有外文說明書第18頁第10至16行的中譯文,而上述中文說明書段落之前後文內容並無明顯不明確或不通順處,是證據2 中文說明書與外文說明書之上開差異處,應認係證據2 申請人申請時有意之遺漏而非誤譯,亦無誤譯訂正之適用,準此,參加人結合證據2 外文說明書上開漏譯之內容主張證據2 已揭示聚氨酯插塞42缺乏孔隙(即開口結構)及添加物而為固體均勻云云,即無理由。

8、承上所述,由證據2 無法直接導出系爭專利申請專利範圍第1項所記「不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力」,是證據2 無法證明系爭專利系爭專利申請專利範圍第1項擬制喪失新穎性。

(五)證據2不足證明系爭專利申請專利範圍第3項擬制喪失新穎性(詳如附表二所示):系爭專利申請專利範圍第3項係「一種用於積體電路晶圓之拋光墊,該墊含一個由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成之第一部分,以及一個由微孔聚胺基甲酸乙酯結構所組成之第二部分,該聚合體片材可為波長在190 至3500nm範圍間之光所通過。」

其亦具有「一個由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成」之技術特徵,而該技術特徵並未明確揭示於證據2 ,亦非熟習該項技術者參酌證據2 申請當時之既有技術可直接導出之事項,業如前述,故證據2亦不足證明系爭專利申請專利範圍第3項擬制喪失新穎性。

(六)證據2不足證明系爭專利申請專利範圍第4項擬制喪失新穎性(詳如附表三所示):系爭專利申請專利範圍第4項係「一種用於積體電路晶圓之拋光墊,該墊含有一個由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成之第一部分,以及一個由充填或膨脹之複合聚胺基甲酸乙酯所組成之第二部分,該聚合體片材可為波長在190 至3500nm範圍間之光所通過。」

其亦具有「一個由不具吸收或傳輸淤漿粒子的固有能力之固體均勻聚合體片材所組成」的技術特徵,而該技術特徵並未明確揭示於證據2 ,亦非熟習該項技術者參酌證據2 申請當時之既有技術可直接導出之事項,業如前述,故證據2 亦不足證明系爭專利申請專利範圍第4項擬制喪失新穎性。

七、綜上所述,證據2 無法證明系爭專利申請專利範圍第1 、3、4 項擬制喪失新穎性,是系爭專利並未違反核准時專利法第20條第1項第2款規定,則原處分認系爭專利有違上開規定,所為「舉發成立,應撤銷專利權」之處分,尚有未洽;

訴願決定予以維持,亦非妥適。

原告訴請撤銷訴願決定及原處分,為有理由,應予准許。

八、本件事證已臻明確,兩造及參加人其餘主張或答辯,經本院審酌後認對判決結果不生影響,爰不一一論列,併此敘明。

據上論結,本件原告之訴為有理由,依智慧財產案件審理法第1條、行政訴訟法第98條第1項前段,判決如主文。

中 華 民 國 103 年 7 月 31 日
智慧財產法院第一庭
審判長法 官 蔡惠如
法 官 彭洪英
法 官 蔡如琪
以上正本係照原本作成。
如不服本判決,應於送達後20日內,向本院提出上訴狀並表明上訴理由,其未表明上訴理由者,應於提起上訴後20日內向本院補提上訴理由書;
如於本判決宣示後送達前提起上訴者,應於判決送達後20日內補提上訴理由書(均須按他造人數附繕本)。
上訴時應委任律師為訴訟代理人,並提出委任書。
(行政訴訟法第241條之1第1項前段),但符合下列情形者,得例外不委任律師為訴訟代理人(同條第1項但書、第2項)。
┌─────────┬────────────────┐
│得不委任律師為訴訟│         所  需  要  件         │
│代理人之情形      │                                │
├─────────┼────────────────┤
│(一)符合右列情形之│1.上訴人或其法定代理人具備律師資│
│  一者,得不委任律│  格或為教育部審定合格之大學或獨│
│  師為訴訟代理人  │  立學院公法學教授、副教授者。  │
│                  │2.稅務行政事件,上訴人或其法定代│
│                  │  理人具備會計師資格者。        │
│                  │3.專利行政事件,上訴人或其法定代│
│                  │  理人具備專利師資格或依法得為專│
│                  │  利代理人者。                  │
├─────────┼────────────────┤
│(二)非律師具有右列│1.上訴人之配偶、三親等內之血親、│
│  情形之一,經最高│  二親等內之姻親具備律師資格者。│
│  行政法院認為適當│2.稅務行政事件,具備會計師資格者│
│  者,亦得為上訴審│  。                            │
│  訴訟代理人      │3.專利行政事件,具備專利師資格或│
│                  │  依法得為專利代理人者。        │
│                  │4.上訴人為公法人、中央或地方機關│
│                  │  、公法上之非法人團體時,其所屬│
│                  │  專任人員辦理法制、法務、訴願業│
│                  │  務或與訴訟事件相關業務者。    │
├─────────┴────────────────┤
│是否符合(一)、(二)之情形,而得為強制律師代理之例外,│
│上訴人應於提起上訴或委任時釋明之,並提出(二)所示關係│
│之釋明文書影本及委任書。                            │
└──────────────────────────┘
中 華 民 國 103 年 8 月 11 日
書記官 邱于婷

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