智慧財產及商業法院行政-IPCA,105,行專訴,70,20170119,3

智慧財產法院行政判決
105年度行專訴字第70號
原 告 豪勉科技股份有限公司
代 表 人 彭以豪（董事長）
訴訟代理人 嚴國杰專利代理人
被 告 經濟部智慧財產局
代 表 人 洪淑敏（局長）
訴訟代理人 林麗芬
參 加 人 旺矽科技股份有限公司
代 表 人 葛長林（董事長）
訴訟代理人 邱謙成
上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國105 年7 月20日經訴字第10506307610 號訴願決定，並經本院命參加人獨立參加本件被告之訴訟，本院判決如下：

主 文

原告之訴駁回。

訴訟費用由原告負擔。

理 由

壹、事實概要：緣原告前於民國（下同）99年10月1 日以「具應變規之點測裝置」向被告申請發明專利，申請專利範圍計4項，第1項為獨立項，其餘為附屬項，經被告編為第99133487號審查，認申請專利範圍有違反當時專利法第22條第2項規定，以102 年5 月24日（102 ）智專二（四）04344 字第10220672410 號、102 年11月5 日（102 ）智專二（四）04344 字第10221508560 號審查意見通知函限期原告提出申復，經原告103 年1 月23日提出申復意見並修正申請專利範圍為2 項後，准予專利發給發明第I436042 號專利證書（下稱系爭專利）。

嗣參加人以該專利有違反核准時專利法第23條及第22條第2項規定，對之提起舉發，案經被告審查，認系爭專利違反前揭專利法第22條第2項之規定，於105 年1 月29日以（105 ）智專三（三）05078 字第10520123220 號專利舉發審定書為「請求項1 至2 舉發成立應予撤銷」之處分。

原告不服，提起訴願，經經濟部105 年7 月20日經訴字第10506307610 號決定駁回，遂向本院提起行政訴訟，並聲明訴願決定及原處分均撤銷，被告應為舉發不成立之處分。

本院因認本件訴訟之結果，倘認訴願決定及原處分應予撤銷，參加人之權利或法律上利益將受損害，乃依行政訴訟法第42條第1項、第3項規定，依職權裁定命其獨立參加本件被告之訴訟。

貳、原告主張：

一、參加人提出之舉發證據即證據3 、證據4 均未揭露出系爭專利之控制單元（24）及「對照表」間的技術特徵，其中，證據3 與證據4 兩者與系爭專利之硬體架構不僅不相同，且證據3 在使用上，其探針與平板間會面臨容易部分鬆脫或完全脫離之問題，證據4 則是原告所申請之前案，且原告亦是為了解決證據4 之缺失，才研發設計出系爭專利的整體技術特徵，此外，在證據3 公告（1988年）後，直到原告申請系爭專利（民國99年即西元2010年）前，這段12年的漫長期間內，市場上仍是普遍使用如證據4 所示之基本架構，因此，證據4 與證據3 等案件，絕非可被簡單地結合，而輕易地思及出系爭專利請求項1 的整體技術特徵。

二、證據5 完全未設有系爭專利之擺臂（21）及探針夾持部（22），與系爭專利兩者的硬體架構完全不同。

又，證據5 之「接觸量檢測手段（7 ）」的底面會與探針（2 ）之尖端部（4 ）齊平，且在「接觸量檢測手段（7 ）」的底面接觸至絕緣部（17）的上表面後，會迫使探針（2 ）變形，以偵測出探針（2 ）之尖端部（4 ）的向下壓力；

反之，系爭專利則是在控制單元（24）內設有一對照表，且其會根據擺臂（21）的變形量，而取得應變規（211 ）的電阻值變化量，進而根據該對照表得知該電阻值變化量所對應之重量單位，以判斷出探針（23）的向下壓力，故證據5 用以檢測的技術手段明顯不同於系爭專利。

證據3 至5 均未揭露出系爭專利之控制單元（24）及「對照表」間的技術特徵，證據3 至5 與系爭專利之硬體架構更是完全不相同，熟悉該領域之技藝人士，顯然無法僅因證據3至5涉及晶圓的相關裝置，即能夠輕易地將證據3 至5 之局部技術相結合，進而輕易地思及出本案的整體技術特徵。

三、證據6 之探針（3 ）是被夾合於第一夾板（23）及第二夾板（24）之間，且第一夾板（23）是透過上下位移方式，而使其上的導電接點與一短路基板（22）上的導電接點相互抵接或相互分離，令該探針（3 ）能據以進行點測作業，故證據6 如同證據4 一般，完全是習知點測裝置的結構。

又證據6是根據第一夾板（23）與短路基板（22）兩者間的導電接點是否抵接，而使探針（3 ）進行點測作業，因此，證據6 完全未設有應變規、控制單元、對照表等結構，且其亦完全不會偵測第一夾板（23）的變形量。

因此，證據3 至6 均未揭露出系爭專利之控制單元（24）及「對照表」間的技術特徵，證據3 至6 與系爭專利之硬體架構更是完全不相同。

由證據6 之申請時間亦可知，在證據3 公告（1988年）後，且在證據6 提出申請（97年）時，市場上仍是普遍使用如證據6（或證據4 ）所示之基本架構，故證據3 至6 顯然絕非可被簡易地結合，而輕易地思及出系爭專利的整體技術特徵，系爭專利請求項1 已具有新穎性及進步性。

四、系爭專利請求項2 係主張「該擺臂與該探針夾持部係一體成型」的技術特徵。

由於系爭專利請求項2 依附於請求項1 ，在系爭專利請求項1 具有新穎性及進步性的情形下，系爭專利請求項2 亦應具有新穎性及進步性。

五、綜上所述，證據3 至6 的實質技術手段，完全不同於系爭專利。

尤其是，系爭專利之硬體架構與該等證據完全不同，且系爭專利在控制單元（24）內設有一「對照表」，以能根據擺臂（21）的變形量，而取得該應變規（211 ）的電阻值變化量，進而根據「對照表」得知該電阻值變化量所對應之重量單位，並執行對應的處理程序等技術原理與結構特徵，更是完全未出現於任一證據中。

六、在系爭專利提出申請前，並未有任何公開資料足以揭露出系爭專利請求項1 的10個元件，及該等元件所共有之15個物理上的連接及互動關係，是以，系爭專利請求項1 及請求項2理應已具有新穎性及進步性等專利要件。

七、並聲明：1.撤銷訴願決定及原處分。2.訴訟費用由被告負擔。

參、被告答辯：

一、系爭專利之「一擺臂」技術特徵，相當證據3 之一板件2技術特徵。

系爭專利之「一應變規，係固設在該擺臂上」技術特徵，相當證據3 之一厚膜壓電轉換器22形成於板件2的 上表面技術特徵。

雖系爭專利之「探針，係被該探針夾持部所夾持固定住，且與該擺臂相電氣連接」技術特徵，與證據3探針12與透過金屬通孔20與探針12相連技術手段略有差異。

惟證據4 為一種點測裝置，用以對晶圓上的LED 晶粒進行點測，第1 圖先前技術擺臂一端設有一探針夾持裝置121 夾持探針13（參證據4 第4 頁），第2 、3 圖懸臂一端設有一夾座222 夾持探針23（參證據4 第7 頁），證據4 已揭露系爭專利之探針夾持部技術特徵。

證據3 、4 與系爭專利具有晶圓點測技術領域之關連性，所屬技術領域中具有通常知識者有動機結合證據3 、4 揭露之技術內容而輕易完成系爭專利請求項1 之發明，故證據3 、4 結合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。

二、證據3 安裝結構9 （相當於系爭專利之控制單元臂）電橋電路連接應變規轉換器22（證據3 第3 欄第25至26行），應變規轉換器會輸出電阻值而安裝結構9 依預定值接觸力控制Z軸運動。

當該接觸力為一預定值時，例如1.4 公斤，該電橋電路被校正使其平衡（零輸出電壓）。

假定當接觸力小於該預定值時，輸出電壓為正值，控制Z 軸運動的電路會在Z 軸方向使探針頭持續進程直到輸出電壓降為零。

當輸出電壓等於零時，Z 軸方向的運動會停止，並進行待測裝置28所需的檢測（證據3 第3 欄第35至40行）。

換言之，證據3 提供應變規22作為電橋電路的一支腳（相當系爭專利的控制單元24電氣連接至應變規211 ，能偵測應變規211 的電阻值變化量），當對應電阻值的接觸力（相當系爭專利電阻值變化量）小於一預定值（相當系爭專利對照表）時，使探針12持續朝待測裝置28移動。

又證據3 舉例說明當接觸力預定為1.4 公斤，電橋電路被校正使其平衡（零輸出電壓），當接觸力小於預定值，控制Z 軸運動的電路會在Z 軸方向使探針頭持續進程直到輸出電壓降為零，上開證據3 技術內容即說明以一重量單位執行之處理程序，是以證據3 已揭露系爭專利之「一控制單元，係電氣連接至該應變規，能偵測該應變規的電阻值變化量，且將該電阻值變化量依一對照表，轉換為一重量單位，並執行對應的處理程序」技術特徵。

三、證據5 係一種半導體晶圓的評價裝置，證據6 係一種點測機之薄型測試針座，證據3 至6 皆屬於晶圓點測相同技術領域，證據3 、4 結合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，證據3 、4 再結合證據5 或5 、6 亦足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。

四、證據4 點測裝置擺臂12一端設有探針夾持裝置121 ，或懸臂22一端設有夾座222 ，已揭露系爭專利請求項2 之擺臂、探針夾持部技術特徵，「一體成型」方法技術特徵係屬於習知技術。

證據3 至5 或3 至6 結合足以證明系爭專利請求項1不具進步性，如審定書( 七) 所述，證據3 至5 或證據3 至6 結合亦足以證明系爭專利請求項2 不具進步性。

五、並聲明：1.駁回原告之訴。2.訴訟費用由原告負擔。

肆、參加人陳述：

一、證據3 、4 或證據3 至5 之組合實已足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：㈠由於證據4 已揭露系爭專利大部分的結構特徵，且證據3 、5 與系爭專利欲解決之問題相同，因此發明所屬技術領域中具有通常知識者為了解決系爭專利所要解決之「傳統點測裝置因採用機械開關方式，而無法精準地控制探針下壓力量，導致點測裝置偵測靈敏度低、準確度不佳、探針易磨損、晶粒表面易損壞」等問題時，在充分理解證據3 至5 的技術內容（欲解決問題、手段、功效）並參酌申請時之通常知識後，自然會產生動機並獲得清楚的教示，而將證據3 所單獨教示或者證據3 及5 所組合教示的「應變規」以及「預設的預定值（記憶手段）」與證據4 的點測裝置結合，從而輕易地完成系爭專利請求項1 的點測裝置。

㈡證據4 亦為原告之專利，當原告發現證據4 之點測裝置的缺失後，為賦予證據4 「能精準控制探針下壓力量，以提高點測裝置偵測靈敏度、降低探針磨損及晶粒損壞」之功效，在參酌證據3 、5 的技術內容（欲解決問題、手段、功效）後，必定會產生動機將證據3 、5 的「應變規」轉用於證據4的擺臂，藉以透過因探針與晶圓相互抵觸而變形的擺臂迫使設置於擺臂上的應變規隨之彎曲變形，同時利用證據3 、5的「預設的預定值（記憶手段）」，輕易地設計出「對應於應變規之電阻值變化量（即變形量）的『對照表』」，最終達成精準控制探針下壓力量之目的。

㈢因此，證據3 、4 或3 至5 實已足以證明系爭專利請求項1不具進步性。

二、證據3 至6 之組合實已足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：㈠證據6 明確地揭示「探針彎折部與水平部之間的夾角介於90度至120 度」（說明書第7 頁倒數第2 行至第8 頁第2 行參照），同時也明確指出前述探針的結構設計能夠有效地縮減收光鏡筒與晶圓之間的距離，以提高晶圓檢測的可靠度（說明書第8 頁倒數第2 段參照）。

㈡承上，對於所屬技術領域中具有通常知識者而言，在充分理解證據3 至6 的技術內容（欲解決問題、手段、功效）並參酌申請時之通常知識後，自然會產生動機並獲得清楚的教示而將證據3 、5 、6 與證據4 的點測裝置結合，從而輕易地完成系爭專利請求項1 的點測裝置。

㈢據此，證據3 至6 實已足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。

三、證據3 至5 及證據3 至6 之組合實已足以證明系爭專利請求項2不具進步性：㈠系爭專利請求項2 依附於請求項1 ，系爭專利請求項2 的技術特徵在於擺臂21與探針夾持部22為一體成型。

㈡系爭專利之目的在於能夠精準控制探針下壓力量，避免晶圓在檢測過程中損壞、提高探針使用壽命以及提升點測裝置的偵測靈敏度，同時還能縮減點測裝置的體積，使積分球能更接近待檢測的晶圓，以提高檢測晶圓的準確性。

系爭專利請求項2 所之技術特徵屬習知技術，且與系爭專利欲解決之問題（發明目的）毫無相關，且證據4 第2 圖已經揭露懸臂22與夾座222 為一體成型的結構，證據6 的圖3 （見本院卷第79 頁 ）亦已揭露一體連接的連接部231 （相當於擺臂）以及夾針部232 （相當於探針夾持部）。

故證據3 至5 或證據3 至6 之組合亦足以證明系爭專利請求項2 不具進步性。

四、並聲明：1.駁回原告之訴。2.訴訟費用由原告負擔。

伍、本件之爭點（見本院卷第95頁）：

一、證據3 至5 ，或證據3 至6 之組合，可否證明請求項1 不具進步性？

二、證據3 至5 ，或證據3 至6 之組合，可否證明請求項2 不具進步性？

陸、得心證之理由：

一、本件應適用之專利法：系爭專利申請日為99年10月1 日，核准審定日為103 年3 月18日，其是否有應撤銷專利權之情事，自應以核准審定時所適用之103 年1 月22日修正，103 年3 月24日施行之專利法規定（下稱現行專利法）為斷。

又按，發明為其所屬技術領域中具有通常知識者依申請前之先前技術所能輕易完成時，不得取得發明專利，專利法第22條第2項所明定。

二、系爭專利技術分析：㈠系爭專利所欲解決的問題傳統的點測裝置，在使用上仍具有諸多缺失，首先，為了穩固該探針的位置，避免其在抵靠晶圓的過程上，因自行受力旋轉，而未能確實地帶動該擺臂，故，業者通常會將該探針夾持部設計的較為厚重，以加大該探針夾持部的夾持面積，同時，亦會增長該探針的長度，使得該探針夾持部能穩固地夾持住該探針，如此一來，將造成該點測裝置的整體體積龐大，除了無法使點測裝置達到薄型化外，更會使該積分球與該晶圓間的距離較遠，造成該積分球的量測誤差值較大，影響了晶圓的出廠良率。

此外，傳統的點測裝置係必須精準地控制該探針的下壓力量，因為，若下壓力量過大，則晶圓便不容易推動該探針上移，將造成該晶圓之LED 晶粒的表面損壞，且探針亦容易發生磨損，反之，若下壓力量過小，則該探針與該晶圓之LED 晶粒的表面會接觸不佳，影響量測的準確度，目前來說，業者通常透過調整該彈性元件的壓迫力，達到控制該探針的下壓力量，但由於前述調整作業，均由人工完成，故常會發生調整上的誤差，致使該探針的下壓力量不如業者預期，嚴重影響到業者的生產程序，且大幅降低了該點測裝置的偵測靈敏度（參系爭專利說明書第5 頁）。

㈡系爭專利主要圖式如附圖一。

㈢系爭專利之技術手段：提供一種具應變規（Strain Gage ）之點測裝置，包括一擺臂、一應變規、一探針夾持部、一控制單元( 如：電腦) 及一探針，其中該擺臂的一端係固定至一裝置的固定端上，且能接收一外部電源，其另一端則連接至該探針夾持部之一端上，該擺臂上設有該應變規，在該擺臂產生變形量時，係會使得該應變規的電阻值發生變化，另，該控制單元係電氣連接至該應變規，且能偵測該應變規的電阻值變化量，並將該電阻值變化量依預先實測獲得之一對照表，轉換為一重量單位（如：公克），並予以顯示，或據以進行分析判斷，再者，該探針被夾持固定於該探針夾持部的另一端中，如此，當該點測裝置之探針朝向該晶圓的頂面抵壓，以對該晶圓產生一下壓力量時，該晶圓會對該探針夾持部產上一向上的作用力，迫使該探針夾持部帶動該擺臂朝向遠離該晶圓的方向變形，進而使得該擺臂上的應變規彎曲變形，令該控制單元能根據量測到之該應變規之電阻值變化量，得知並控制該探針對該晶圓的下壓力量，以能大幅提升該點測裝置的偵測靈敏度及精準度（參系爭專利說明書第6 至7 頁【發明內容】）。

㈣系爭專利申請專利範圍：系爭專利申請專利範圍共2 項，第1項為獨立項，其餘為附屬項。

⒈一種具應變規之點測裝置，係應用至測試一晶圓，且能提供電流予該晶圓，使該晶圓發光，且發出的光源會被一積分球所接收，該點測裝置包括：一擺臂，其一端係固定至一裝置的固定端上，且接收一外部電源；

一應變規，係固設在該擺臂上，且會隨著該擺臂的變形量而產生電阻值的變化；

一探針夾持部，其一端係連接至該擺臂的另一端；

一探針，係被該探針夾持部所夾持固定住，且與該擺臂相電氣連接，其中該探針為導電材質，且能接收該擺臂傳來之外部電源，其包括一水平部及一彎折部，該水平部之一端被夾持固定於該探針夾持部的另一端中，該彎折部係與該水平部形成小於145 度且大於90度之一夾角，並暴露在該探針夾持部外，在該探針朝向該晶圓的頂面抵壓，以對該晶圓產生一下壓力量的狀態下，該晶圓會對該探針夾持部產生一向上的作用力，迫使該探針夾持部帶動該擺臂朝向遠離該晶圓的方向變形，且使該擺臂上的該應變規彎曲變形；

及一控制單元，係電氣連接至該應變規，能偵測該應變規的電阻值變化量，且將該電阻值變化量依一對照表，轉換為一重量單位，並執行對應的處理程序。

⒉如請求項1 所述之點測裝置，其中該擺臂與該探針夾持部係一體成型。

三、舉發證據技術分析：㈠證據3 ：證據3 為1998年6 月7日 公告之美國第4749942 號「Wafer probe head」專利案（原處分卷第28-26 頁，中譯文見本院卷第80-82 頁），其公告日係早於系爭專利申請日（2010年10月1 日），可為系爭專利之先前技術。

⑴證據3 揭露一種晶圓探針頭具有板形支撐構件，該板形支撐構件具有尖端區域和安裝區域。

至少一個導電探針尖端由尖端區域處的支撐構件承載。

一連接器在與尖端區域間隔開的位置處由支撐構件承載，且探針尖端電連接到該連接器。

探針頭更具有一應變規，用以測量支撐構件的物理變形，該物理變形係源於支撐構件的安裝區域和待測裝置之間相對運動以將探針尖端抵觸於待測裝置。

⑵證據3主要圖式如附圖二。

㈡證據4 ：證據4 為2010年6 月11日公告之我國第M382589 號「點測裝置」專利案（原處分卷第25-13 頁），其公告日係早於系爭專利申請日（2010年10月1 日），可為系爭專利之先前技術。

⑴證據4 揭露一種點測裝置，用以對晶圓上的LED 晶粒進行點測，該點測裝置包括一支架、一懸臂及一探針，其中該支架係能接收一電源供應器傳來之電流，鄰近該支架一端的位置分別設有一第一導電接點及一立柱，且鄰近該支架另端的位置設有一第一樞接部，該懸臂一端設有一第二樞接部，其另端設有一夾座，鄰近該懸臂另端的位置分別設有一第二導電接點及一穿孔，該第二導電接點係對應於該第一導電接點，該立柱能由該懸臂之底面貫穿該穿孔，該第二樞接部係與該第一樞接部相樞接或相連接，以使該懸臂與該支架相電氣連接，且使該懸臂能以該第一樞接部作為支撐點進行上下擺動，進而使該第二導電接點與該第一導電接點相互分離或相互抵接，該立柱上套設有一彈性元件，該探針一端設有一固定部，該固定部係被夾持固定於該夾座中，且能接受該點測裝置傳來之電流，該探針外露於該夾座外的其餘部份係朝向遠離該懸臂的方向彎曲，以形成一彎折部；

由於該探針除彎折部外的其餘部分均夾持固定於該夾座中，故能有效增加該探針的剛性，如此，當該探針抵壓至該晶圓之頂面時，該探針之彎折部將不容易變形，而能靈敏地將該晶圓傳來之反作用力傳遞至該懸臂，並迅速地帶動懸臂擺動，使電流能經由該探針有效準確地傳送至晶圓上的LED 晶粒，大幅提升點測裝置的偵測靈敏度及定位準確性。

⑵證據4主要圖式如附圖三。

㈢證據5 ：證據5 為2003年12月5 日公開之日本特開0000-000000 號「半導體晶圓之評價裝置及評價方法」專利案（原處分卷第12-8頁，中譯文見本院卷第83-86 頁），其公開日係早於系爭專利申請日（2010年10月1 日），可為系爭專利之先前技術。

⑴證據5 揭露一種半導體晶圓的評價裝置，係使探針與半導體晶圓上的電極接觸，以進行半導體晶圓的電特性的評價，其特徵在於至少包括：一接觸量檢測手段，內藏用以檢測該探針與電極的接觸量之應變規，以及一探針位置控制手段，藉由該接觸量檢測手段所檢測的探針與電極的接觸量，調節探針的高度位置。

⑵證據5主要圖式如附圖四。

㈣證據6 ：證據6 為2009年12月1 日公開之我國第200949251號「點測機之薄型測試針座」專利案（原處分卷第7-1 頁），其公開日係早於系爭專利申請日（2010年10月1 日），可為系爭專利之先前技術。

⑴證據6 揭露一種點測機之薄型測試針座，包含：一置針單元及一探針。

該置針單元包括一呈水平設置的第一夾板，及一與該第一夾板將該探針上下夾置的第二夾板。

而該探針因應此種夾置方式而包括一位於前端且朝下延伸的點測尖端部。

由於測試針座是採用上下夾針的組配關係，以能夠有效地降低夾針處之厚度。

⑵證據6主要圖式如附圖五。

四、技術爭點分析：㈠證據3 、證據4 與證據5 之組合，是否足以證明系爭專利請求項1 、2 不具進步性？⑴證據4：⒈證據4 說明書第4 頁已揭露一種點測裝置，係應用至測試一晶圓，且能提供電流予該晶圓上的LED 晶粒，使該LED 晶粒發光，藉由偵測該光線的波長、強度、顏色等特性，判斷晶圓的製造品質。

故證據4 已揭露系爭專利請求項1「 一種點測裝置，係應用至測試一晶圓，且能提供電流予該晶圓，使該晶圓發光，且發出的光源會被接收」技術特徵；

惟證據4 未揭露「應變規」及「積分球」等技術特徵。

⒉證據4 說明書第7 頁已揭露點測裝置包括一支架及一懸臂，支架與一電源供應器電氣連接，懸臂藉由樞接部與支架相樞接及電氣連接。

該懸臂即相當於系爭專利請求項1 之擺臂，支架則相當於固定端，故證據4 已揭露系爭專利請求項1 「一擺臂，其一端係固定至一裝置的固定端上，且接收一外部電源」技術特徵。

⒊證據4 未揭露與應變規相關之技術內容，故未揭露系爭專利請求項1 「一應變規，係固設在該擺臂上，且會隨著該擺臂的變形量而產生電阻值的變化」技術特徵。

⒋證據4 說明書第7 頁第7 至8 行、第8 頁最後一行至第9 頁第1 行揭露懸臂於樞接部之另一端設有一夾座222。

該夾座即相當於系爭專利請求項1 之探針夾持部，故證據4 已揭露系爭專利請求項1 「一探針夾持部，其一端係連接至該擺臂的另一端」技術特徵。

⒌查證據4 說明書第9 頁第19至21行揭露探針由導電材質所構成，且被夾持固定於夾座中，能接受點測裝置傳來之電流。

故證據4 已揭露系爭專利請求項1 「一探針，係被該探針夾持部所夾持固定住，且與該擺臂相電氣連接，其中該探針為導電材質，且能接收該擺臂傳來之外部電源」技術特徵。

⒍證據4 說明書第7 頁第17至21行揭露探針一端設有一固定部，該固定部被夾持固定於夾座中；

探針外露於該夾座外的其餘部分朝向遠離懸臂的方向彎曲，以形成一彎折部，而與該固定部形成一預定夾角。

依據證據4 第2圖，該固定部即水平部。

且由於彎曲方向係遠離懸臂，故該預定角度應大於90度。

又查證據4 第4 圖之探針彎折部與水平部之夾角約略小於145 度，雖文字未明確揭露夾角之數值範圍，惟其圖式實已揭露系爭專利請求項1 「該彎折部係與該水平部形成小於145 度且大於90度之一夾角」之下位概念。

故證據4 已揭露系爭專利請求項1 「其包括一水平部及一彎折部，該水平部之一端被夾持固定於該探針夾持部的另一端中，該彎折部係與該水平部形成小於145 度且大於90度之一夾角，並暴露在該探針夾持部外」技術特徵。

⒎證據4 說明書第7 頁第21至24行揭露當探針接近並朝向一晶圓之頂面抵壓時，該探針收到該晶圓傳來之反作用力，令該懸臂朝向遠離該晶圓的方向擺動。

故證據4已揭露系爭專利請求項1 「在該探針朝向該晶圓的頂面抵壓，以對該晶圓產生一下壓力量的狀態下，該晶圓會對該探針夾持部產生一向上的作用力」技術特徵。

惟證據4 之反作用力係克服彈性元件所施之力，而非令懸臂變形，證據4 亦未提及應變規之技術特徵，故證據4 未揭露「迫使該探針夾持部帶動該擺臂朝向遠離該晶圓的方向變形，且使該擺臂上的該應變規彎曲變形」技術特徵。

⒏證據4 未揭露與應變規相關之技術內容，故未揭露系爭專利請求項1 「一控制單元，係電氣連接至該應變規，能偵測該應變規的電阻值變化量，且將該電阻值變化量依一對照表，轉換為一重量單位，並執行對應的處理程序」技術特徵。

⒐綜上，證據4 未揭露系爭專利請求項1 「發出的光源會被一積分球所接收」、「一應變規，係固設在該擺臂上，且會隨著該擺臂的變形量而產生電阻值的變化」、「該探針夾持部帶動該擺臂朝向遠離該晶圓的方向變形，且使該擺臂上的該應變規彎曲變形」以及「一控制單元，係電氣連接至該應變規，能偵測該應變規的電阻值變化量，且將該電阻值變化量依一對照表，轉換為一重量單位，並執行對應的處理程序」等技術特徵。

⑵證據3：⒈證據3 摘要已揭露一晶圓探測頭，相當於系爭專利請求項1 用於測試一晶圓之點測裝置；

證據3 摘要更揭露該探測頭具有一應變規，且探針尖端電連接至連接器，能提供電流予該晶圓。

故證據3 已揭露系爭專利請求項1「一種具應變規之點測裝置，係應用至測試一晶圓，且能提供電流予該晶圓」技術特徵。

⒉證據3 說明書第3 欄第20至33行揭露板型構件2 上表面有一壓電轉換器22作為應變規，當安裝結構9 上下移動令探針尖端接觸待測裝置之接觸板時，板型構件2 的彎曲會影響轉換器22之電阻值。

故證據3 已揭露系爭專利請求項1 「一應變規，係固設在該擺臂上，且會隨著該擺臂的變形量而產生電阻值的變化」技術特徵。

⒊證據3 圖1 ，探針12係呈現彎折狀，一部分與板型構件平行，用以固定於該板型構件上；

另一部分則延伸暴露於板型構件外，用以接觸待測裝置，角度符合測試需求；

兩部分形成大於90度之夾角。

⒋證據3 說明書第3 欄第27至33行揭露安裝結構9 會在Z軸方向（上下）移動，帶動探針尖端12之底端1 接觸待測裝置之接觸板26；

當接觸時，板型構件2 會略為彎曲，並影響轉換器22之電阻值。

證據3 說明書第3 欄第20至25行已揭露該轉換器22係一壓電轉換器，作為應變規使用，而依據應變規之原理（可參系爭專利說明書第7頁末段），可知該轉換器會隨著板型構件彎曲變形，以影響電阻值。

故證據3 已揭露系爭專利請求項1 「在該探針朝向該晶圓的頂面抵壓，以對該晶圓產生一下壓力量的狀態下，該晶圓會對該探針夾持部產生一向上的作用力，迫使該探針夾持部帶動該擺臂朝向遠離該晶圓的方向變形，且使該擺臂上的該應變規彎曲變形」技術特徵。

⒌證據3 說明書第3 欄第25至27行揭露電橋電路用以控制安裝結構9 的Z 軸移動；

第20至24行揭露壓電轉換器22作為電阻電橋電路的一個腳位；

第27至33行揭露壓電轉換器22隨著安裝結構9 的Z 軸移動，因接觸時受力變形而改變電阻值；

33至42行揭露電橋電路被校準，當接觸力道到達一預設值（例如1.4 公斤）時達到平衡（零電壓輸出），當接觸力道低於預設值時輸出正電壓，令Z軸移動控制電路推進探針頭，直到輸出電壓降至零時停止移動，以實現理想的測試。

該電橋電路即相當於系爭專利請求項1 之控制單元，藉由應變規的電阻值變化量影響輸出電壓，以偵測並控制接觸力道，故證據3 已揭露系爭專利請求項1 「一控制單元，係電氣連接至該應變規，能偵測該應變規的電阻值變化量，並執行對應的處理程序」技術特徵。

⑶系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者組合證據3 、證據4 可輕易完成系爭專利請求項1 技術內容：⒈按所謂「該發明所屬技術領域中具有通常知識者」，係一虛擬之人，指具有專利申請時該發明所屬技術領域之一般知識及普通技能之人，且能理解、利用申請時之先前技術而言。

又先前技術指專利申請前已見於刊物、已公開實施或已為公眾所知悉者。

審查人員於判斷進步性時，需模擬該虛擬之人，以求客觀判斷，避免後見之明。

模擬的方式應針對系爭專利所涉及之基礎知識，及所欲解決之問題，並參酌由申請前之先前技術文件（例如舉發證據）建構出申請時之技術水準。

查系爭專利藉由應變規及控制單元解決力道控制之問題，需要電子、電機相關基礎知識。

又系爭專利係欲克服晶圓點測裝置在運作時所遇到的問題，需要晶圓檢測相關工作經驗方能提出。

故系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者，應係電子、電機相關學系畢業後，具有晶圓檢測相關工作經驗者。

⒉查系爭專利至少揭露兩個技術手段解決兩個子問題，一是藉由彎折的探針以及夾持部以確實地傳遞反作用力，同時令點測裝置薄型化、減少積分球與晶圓之距離；

二是藉由應變規以及控制單元控制點測裝置的下壓力道，避免力量太大損壞晶圓表面，或力量太小造成接觸不良。

查證據4 說明書第4 頁已揭露利用彎折的探針以及夾持部以確實地傳遞反作用力；

又查證據3 第1 欄第47至60行揭露習知晶圓探測器並無偵測力道的手段，可能會因錯誤的初始設置，令接觸壓力過高，而導致晶圓損傷，或造成錯誤的測試結果；

而如前所述，證據3 之技術手段係將應變規應用於晶圓點測裝置，其將應變規固設在擺臂上，在探針朝該晶圓的頂面抵壓時，反作用力會迫使擺臂朝向遠離該晶圓的方向變形，並使該擺臂上的該應變規彎曲變形，且會隨著該擺臂的變形量而產生電阻值的變化，控制單元能因應該應變規的電阻值變化而執行對應的處理程序。

因此證據4 已揭露系爭專利第一個技術手段及功效，證據3 則揭露系爭專利第二個技術手段及功效，系爭專利僅是該二技術手段之組合，功效係兩者相加，並未產生無法預期之功效。

證據3 、證據4 及系爭專利均屬晶圓探測裝置之相關技術，均針對晶圓點測裝置之力道控制手段進行改良，由於力道控制為點測裝置技術領域之重要議題，具晶圓檢測相關知識及工作經驗之通常知識者有合理之動機參酌證據3 與證據4 之技術手段，可輕易將證據3 所揭露之應變規相關技術用於證據4 之點測裝置。

⒊證據3 、證據4 雖未揭露「發出的光源會被一積分球所接收」、「電阻值變化量依一對照表，轉換為一重量單位」等技術特徵。

惟查，證據4 說明書第8 頁首段已揭露業者能藉由偵測該晶圓上的LED 晶粒所發出光線的特性（如：波長、發光強度、顏色等），判斷該晶圓的製造品質。

證據4 雖未揭露是藉由何種裝置接收光線，惟其所揭露之功用與系爭專利說明書第3 至5 頁對於積分球的描述完全相同，且積分球為系爭專利說明書所自承之先前技術，故可藉由證據4 輕易完成此技術特徵。

如前所述，證據3 說明書第3 欄第20至42行已揭露接觸力（以重量為單位）與電阻之轉換方式及對應關係，並藉由偵測電阻之變化，判斷是否已達到預設的接觸力。

雖證據3 未揭露「對照表」之特徵，惟已揭露對照關係，且已足以達成系爭專利所欲達成之功效，故該變化係可輕易完成。

因此，系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者，藉由證據3 與證據4 揭露之內容，足以輕易完成系爭專利請求項1 ，系爭專利請求項1 不具進步性。

又證據3 與證據4 已足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，則證據3 、證據4 與證據5 之組合，亦足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。

⑷原告之主張均不足採信：⒈原告雖主張，證據3 之探針未被任何元件夾持住，在長時間使用下，探針與平板間容易完全脫離，而無法確實帶動平板產生形變，或因部分鬆脫而令探針需施加較大的力量才足以使平板產生預期的形變，造成待測物損壞；

而系爭專利之探針則是被夾持於探針夾持部上，系爭專利之探針、探針夾持部與擺臂間始終能保持良好的穩固性云云（見起訴狀第7 至8 頁）。

惟如前述比對，證據4 已揭露系爭專利之探針夾持部；

證據4 說明書第10頁第2 段亦揭露藉由夾持的技術手段，能靈敏地將晶圓傳來之反作用力傳遞至該懸臂。

故藉由證據4 與證據3之組合足以達成系爭專利請求項1 之功效。

⒉原告又主張，證據3 之感測器22是用來調整輸出電壓值，證據3 純粹是根據橋接電路的輸出電壓值是否為0，以控制裝置移動；

反之系爭專利則是根據擺臂的變形量，取得應變規的電阻值變化量，進而根據對照表得知對應之重量單位，以執行對應的處理程序，兩者技術原理完全不同云云（見起訴狀第8 至9 頁）。

惟查，證據3說明書第3 欄第20至25行已揭露轉換器22係一壓電轉換器，作為應變規使用；

第27至33行揭露壓電轉換器22因接觸時受力變形而改變電阻值。

故證據3 與系爭專利同樣是藉由應變規將變形轉換為電阻變化，證據3 係進一步令電阻依據預設的接觸力（例如1.4 公斤）影響電壓，以執行對應的處理程序。

證據3 與系爭專利雖流程略有不同，惟其運作原理實質相同。

⒊原告又主張，在證據3 公告後，直到原告申請系爭專利前，在這12年期間，市場上仍是普遍使用如證據4 所示之基本架構，因此證據4 與證據3 絕非可簡單結合云云（見起訴狀第11頁）。

惟證據3 確實已揭露利用應變規偵測並控制晶圓探測針的接觸力，於系爭專利申請時，所屬技術領域中具有通常知識者藉由證據3 所教示之問題、手段、功效，當可輕易改變證據4 之技術內容。

至於市場上普遍使用何種習知技術，相關考量因素眾多，尚不得以市場上普遍使用如證據4 所示之基本架構，遽以推論證據3 、證據4 非可簡單結合。

⒋原告又主張，被告於審查階段已認定「在量測的電子裝置上設有應變規」的技術手段，對於系爭專利申請當時的通常知識者而言，並無法經邏輯分析、推理或試驗後，輕易地思及出系爭專利的整體對象，因此，在舉發證據3 、4 、5 、6 並未揭露出系爭專利請求項1 的10個元件以及15個物理上的連接及互動關係之情況下，被告又欲推翻原有進步性之見解，自然應輔以充足的邏輯分析、推理或試驗之論述，而不應聽信參加人後見之明的片面之詞，完全未根據申請當時之通常知識，便任意推翻先前已為之專業認定云云（見105 年12月16日補充理由狀第13頁）。

惟查，證據3 至6 均為系爭專利申請前之先前技術，雖被告於初審階段或許囿於人力、時間而未能檢索到舉發證據3 、5 、6 ，惟舉發制度之用意即在於藉由公眾審查以彌補被告機關審查資源之不足，故當舉發人提出有力之新證據時，自有可能推翻被告機關原本的進步性認定，以維護公眾之利益。

原告主張舉發證據未揭露多項元件及連結關係，且無充分的邏輯分析、推理或試驗，惟查原處分及訴願、訴訟答辯書中實已就舉發證據詳細比對，並論述為何可輕易完成系爭專利請求項之內容，原告空言泛稱被告未依申請時之通常知識進行審查，並不足採。

㈡證據3 、證據4 與證據5 之組合，是否足以證明系爭專利請求項2 不具進步性？系爭專利請求項2 係依附於請求項1 ，其附加之技術特徵為「其中該擺臂與該探針夾持部係一體成型」。

如請求項1 之比對內容，證據4 已揭露擺臂連接探針夾持部，將其改為一體成型實屬習知技術之簡單變化，對於系爭專利之技術內容並未產生任何無法預期之功效，為所屬技術領域中具有通常知識者，藉由證據3 、證據4 與證據5 揭露之內容，可輕易完成，而不具進步性。

㈢證據3 、證據4 、證據5 與證據6 之組合是否足以證明系爭專利請求項1、2不具進步性？如前所述，系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者藉由證據3 、證據4 與證據5 ，已足以輕易完成系爭專利請求項1、2 ，其再參酌證據6 亦可輕易完成系爭專利請求項1 、2。

另查，證據6 圖2 、圖3 已揭露擺臂與該探針夾持部係一體成型，藉由證據6 之教示，系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者可輕易將一體成型之習知技術用於擺臂與該探針夾持部。

故證據3 、證據4 、證據5 與證據6 之組合，足以證明系爭專利請求項1 、請求項2 不具進步性。

五、綜上所述，證據3 、證據4 與證據5 之組合，及證據3 、證據4 、證據5 與證據6 之組合，足以證明系爭專利請求項1、2 不具進步性，系爭專利違反現行專利法第22條第2項之規定，被告就本件專利舉發案所為「系爭專利請求項1 至2舉發成立應予撤銷」之處分，並無違誤，訴願決定予以維持，亦無不合。

原告訴請撤銷原處分及訴願決定，為無理由，應予駁回。

六、本件事證已臻明確，兩造及參加人其餘主張或答辯，經本院審酌後認對判決結果不生影響，爰不一一論列，併此敘明。

據上論結，本件原告之訴為無理由，爰依智慧財產案件審理法第1條，行政訴訟法第98條第1項前段，判決如主文。

中 華 民 國 106 年 1 月 19 日
智慧財產法院第二庭
審判長法 官 李維心
法 官 蔡如琪
法 官 彭洪英
以上正本證明與原本無異。
如不服本判決，應於送達後20日內，向本院提出上訴狀並表明上訴理由，其未表明上訴理由者，應於提起上訴後20日內向本院補提上訴理由書；
如於本判決宣示後送達前提起上訴者，應於判決送達後20日內補提上訴理由書（均須按他造人數附繕本）。
上訴時應委任律師為訴訟代理人，並提出委任書（行政訴訟法第241條之1第1項前段），但符合下列情形者，得例外不委任律師為訴訟代理人（同條第1項但書、第2項）。
┌─────────┬────────────────┐
│得不委任律師為訴訟│         所  需  要  件         │
│代理人之情形      │                                │
├─────────┼────────────────┤
│(一)符合右列情形之│1.上訴人或其法定代理人具備律師資│
│  一者，得不委任律│  格或為教育部審定合格之大學或獨│
│  師為訴訟代理人  │  立學院公法學教授、副教授者。  │
│                  │2.稅務行政事件，上訴人或其法定代│
│                  │  理人具備會計師資格者。        │
│                  │3.專利行政事件，上訴人或其法定代│
│                  │  理人具備專利師資格或依法得為專│
│                  │  利代理人者。                  │
├─────────┼────────────────┤
│(二)非律師具有右列│1.上訴人之配偶、三親等內之血親、│
│  情形之一，經最高│  二親等內之姻親具備律師資格者。│
│  行政法院認為適當│2.稅務行政事件，具備會計師資格者│
│  者，亦得為上訴審│  。                            │
│  訴訟代理人      │3.專利行政事件，具備專利師資格或│
│                  │  依法得為專利代理人者。        │
│                  │4.上訴人為公法人、中央或地方機關│
│                  │  、公法上之非法人團體時，其所屬│
│                  │  專任人員辦理法制、法務、訴願業│
│                  │  務或與訴訟事件相關業務者。    │
├─────────┴────────────────┤
│是否符合(一)、(二)之情形，而得為強制律師代理之例外，│
│上訴人應於提起上訴或委任時釋明之，並提出(二)所示關係│
│之釋明文書影本及委任書。                            │
└──────────────────────────┘
中 華 民 國 106 年 1 月 20 日
書記官 鄭郁萱