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智慧財產及商業法院民事裁定
112年度民專抗字第4號
抗告人ENTEGRIS, INC.（美國安堤格里斯公司）
法定代理人Joseph Colella
代理人張哲倫律師
陳初梅律師
陳佳菁律師
相對人家登精密工業股份有限公司
法定代理人邱銘乾
上列當事人間保全證據事件，抗告人對於民國112年7月19日本院112年度民聲字第11號裁定，提起抗告，本院裁定如下：
主文
一、抗告駁回。
二、抗告訴訟費用由抗告人負擔。
理由
壹、聲請及抗告意旨略以：
一、抗告人為我國發明第I606534號「用於基板載具之塔」、第I515159號「用於微環境之可供滌洗氣穿透之多孔壁」專利（下稱系爭專利1、系爭專利2，統稱系爭專利）之專利權人，系爭專利涉及在一潔淨環境中儲存或運送物體之可運送基板容器，即「前開式晶圓傳送盒」（下稱FOUP,FrontOpening Unified Pod)，具有管狀之塔擴散器，可吹掃去除所不欲存在之污染物，及時驅除容器內潮濕氣體並以清潔氣體取代之，使FOUP可具更佳潔淨效果。
二、相對人之「300 Diffuser FOUP」產品（下稱系爭產品）使用與抗告人系爭專利Diffuser FOUP產品「A300」相似型號名，基於其為抗告人競爭對手，有配合市場半導體客戶需求提供相同產品之替代品之動機，又相對人於其他國家申請相關專利使用「管式擴散器」技術，系爭產品販售對象目前係採用系爭專利產品，有不擬變動生產線參數之需求，以一般科技產業經營之經營法則，相對人銷售之diffuser FOUP應已採取相對人專利所載管式擴散器，參以系爭產品銷售頁面自稱所有尺寸皆符合SEMI規範，抗告人在臺中國立自然科學博物館「半導體的世界」展館（下稱科博館展館），發現載有相對人商標之FOUP，其下方具有四個清洗埠，因系爭產品之多孔管式塔擴散器所占空間不可侵犯SEMI規範之排除空間，而其清洗埠位置與系爭專利產品相同，則系爭產品於連結清洗埠及多孔管式塔擴散器時，必然使用一偏移部（或偏置部），使多孔管式塔擴散器可避開FOUP內之排除空間，抗告人已合理釋明系爭產品具有系爭專利1請求項6及系爭專利2請求項1之技術特徵，而有落入系爭專利文義範圍可能。
三、抗告人依民事訴訟法第368條第1項後段確定事、物現狀之規定聲請保全證據，系爭產品販售予極少數之特定半導體製造商，其產銷情形外人難以探知，抗告人難以透過合法、正常與公開管道自行蒐集取得相對人侵權事證，抗告人已提出前揭事證釋明相對人之diffuser FOUP極有可能侵害系爭專利之專利權，本件證據保全就確定系爭產品及相關文件之現狀有法律上利益並有必要，原審對於釋明之標準過苛，違反證據保全之本旨，侵害抗告人訴訟程序之權能。
四、聲明：㈠原裁定廢棄。㈡准予就相對人之樹谷廠房與南科分公司所持有之全部「具擴散器之前開式晶圓傳送盒」（diffuser FOUP）產品（包括但不限於樣品、半成品及完成品），以勘驗、拍照、錄影或其他必要之方式予以保全。㈢准予就相對人之樹谷廠房與南科分公司所持有與之「具擴散器之前開式晶圓傳送盒」（diffuser FOUP）產品相關之紀錄文件，如：產品結構相關之全部工程圖（包括但不限於爆炸圖、2D圖、3D圖及料號表等）、行銷資料、產品報價單、產品採購/銷售/出貨單等文件或協議（契約）、產品購買收據、產品操作/使用說明書等相關文件予以勘驗、拍照、影印或以其他必要之方式為保全；若為電磁紀錄，應將該等電磁紀錄備份及列印為保全。
貳、按民事訴訟法之證據保全制度，固由原本防止證據滅失或礙難使用，避免將來於訴訟中舉證困難之預為調查功能，擴大及於賦與當事人於起訴前充分蒐集事證資料之機會，助益於當事人研判紛爭之實際狀況，進而成立調解或和解，以消弭訴訟，於同法第368條第1項後段增訂「就確定事、物之現狀」，亦得聲請為鑑定、勘驗或保全書證之規定，然限於「有法律上利益並有必要」時，始得為之，以防止濫用而損及他造之權益，並避免司法資源之浪費。又保全證據之聲請，除應表明應保全之證據、依該證據應證之事實、應保全證據之理由，並應就應保全證據之理由予以釋明，此觀同法第370條第1項、第2項規定即明（最高法院107年度台抗字第 939號民事裁定意旨參照）。
參、經查：
一、關於證據保全之法律上利益：
抗告人主張其為系爭專利之專利權人，相對人之系爭產品有侵害系爭專利之虞等情，提出聲證1至4系爭專利說明書公告本及查詢資料，聲證5系爭產品「300 Diffuser FOUP」銷售頁面、聲證6至聲證9相對人於他國專利公開本、聲證10及聲證11科博館展館產出相對人之FOUP照片為證（原審卷第33至284頁），而抗告人聲請保全之系爭產品及其相關紀錄文件，攸關相對人侵權行為及損害賠償之認定，堪認抗告人已釋明本件聲請證據保全，有確定相對人侵權行為有無之法律上利益。
二、關於證據保全之必要性：
㈠抗告人未釋明系爭產品有侵害系爭專利情事：
⒈抗告人未釋明系爭產品有落入系爭專利1請求項6及系爭專利2請求項1文義範圍之虞：
⑴抗告人未釋明系爭產品使用系爭專利之具偏移部（或偏置部）管式擴散器：
抗告人所提聲證5僅可得見300mm晶圓載具外觀，聲證5雖記載「300 Diffuser FOUP」，而可推知聲證5亦使用擴散器，惟縱使相對人系爭產品使用「擴散器」技術，因系爭專利1請求項6、系爭專利2請求項1文義範圍並非僅記載「管式擴散器」，尚包含管式擴散器之細部結構(如偏移部或偏置部)等技術特徵（參聲證1、2專利說明書公告本，原審卷第81至82頁、第117頁），抗告人僅以聲證5外觀、聲證10科博館展館相對人之FOUP下方具有如聲證11所示四個清洗埠，主張聲證5使用系爭專利1請求項6、系爭專利2請求項1具偏移部（或偏置部）「管式擴散器」，顯屬臆測。
⑵抗告人未釋明系爭產品必然使用一偏移部（或偏置部）：
①FOUP底部的清洗埠之位置並非不可改動：
依抗告人所提國際半導體產業協會（SEMI）所訂定之標準，FOUP盒內在水平方向上應有一任何元件均不可侵犯之排除空間（即原審民事保全證據聲請狀第7頁圖示中黃色標記區域以外的區域，原審卷第13頁），惟該標準並未規定FOUP盒下方殼體（黃色區域，清洗埠設置區域）垂直方向（厚度）為不可侵犯之排除空間。抗告人於原審陳稱：FOUP的外輪廓，需符合載運與儲放設置之設定，能改動的幅度亦有限；FOUP底部的清洗埠亦同等語（原審卷第379頁，置於卷末證物袋），是參佐SEMI標準及抗告人前揭陳述，FOUP底部的清洗埠之位置並非不可改動。再由聲證5「300 Diffuser Foup」銷售頁面記載：「提供300mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護……所有尺寸皆符合SEMI規範，亦可因應機台參數設定作客製化修改，確保FOUP與機台之相容性」（原審卷第129頁），可知晶圓載具係可修改，並非如抗告人所稱盒子外型尺寸、氣體入口及出口之界面都是配合充氣機台，不能修改（本院卷第106頁）。
②○○○○○○○○○○○○○○○○：
○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○
○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○
○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○
○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○。
③基上，縱使氣體擴散裝置須符合SEMI規範，其配合之清洗埠位置、○○○○○○○○○○○○○○，相對人之FOUP清洗埠與擴散管間並非必須設置一「偏移部/偏置部」，以使氣流能順利行進通過該水平方向上之距離差。
⒉抗告人主張相對人應已採用相同於其自身申請之專利文獻所記載的管式擴散器(原審卷第13頁)，並已作成侵權分析比對表（原審附件二，原審卷第27至32頁)，釋明系爭產品至少具有系爭專利1請求項6及系爭專利2請求項1之技術特徵，而有落入系爭專利文義範圍之可能云云（本院卷第29頁）。然查：
⑴系爭專利1請求項6記載「……該入口接頭安置於該底壁中之一開孔處……」（原審卷第81頁），而依據聲證7相對人於大陸地區所申請之專利案（CN 115706033A）專利說明書圖式21B、21C（原審卷第207至208頁），明顯可見緩衝氣室97及進氣模組25並未設置於貫穿通道206處，抗告人指稱系爭產品至少具有系爭專利1請求項6之技術特徵云云，顯屬臆測。
⑵系爭專利2請求項1記載「……該入口塔，具有一長度及包含一多孔管狀部，該多孔管狀部位在具有一偏移部(offset
portion)之一非多孔聚合物管件(non porous polymer
fitting)之中……」（原審卷第117頁），而依據相對人聲證7專利圖式21B、21C，明顯可見耦合結構205並未具有一偏移部，抗告人所謂系爭產品至少具有系爭專利2請求項1之技術特徵云云，亦非有據。
⒊依上所述，抗告人所提事證不足以釋明系爭產品有落入系爭專利1請求項6及系爭專利2請求項1文義範圍之虞，縱使進一步依相對人聲證7專利圖式21B、21C所揭露之內部結構，與系爭專利1請求項6、系爭專利2請求項1進行比對，仍無落入前揭專利請求項文義範圍之虞，抗告人並未釋明系爭產品有侵害系爭專利情事。
㈡衡諸兩造間就FOUP產品之產銷具有競爭關係，兩造間專利侵權事件，依抗告人所提事證，系爭產品侵害系爭專利之蓋然性低，尚不足以使本院就抗告人之本案請求產生薄弱之心證，倘依抗告人單方聲請即貿然准許本案外之證據保全，使相對人遭受實體及程序利益之突襲或不當干擾，恐違事理之平，且以抗告人前揭侵權範圍釋明不足之情況下，保全相對人持有之全部具擴散器FOUP產品，亦有窺探相對人營業活動疑慮，實有礙於科技產業競爭秩序之維護。而依抗告人所述，系爭產品需配合半導體製程產線，並無證據釋明可於短時間內簡單更改結構致使產品現狀產生變化，抗告人於侵權本案訴訟仍得聲請調查相關證據，當不致因本件聲請駁回即令其實體利益喪失殆盡，綜合考量上情，為防止保全證據程序濫用而損及相對人權益，並避免司法資源之浪費，本院認本件尚無依抗告人聲請而為保全證據之必要。
肆、綜上所述，本件依抗告人所提事證，系爭產品侵害系爭專利之蓋然性低，抗告人並未釋明系爭產品有侵害系爭專利情事，為防止保全證據程序濫用而損及相對人權益，並避免浪費司法資源，應無證據保全之必要。從而，原裁定駁回抗告人之聲請，並無違誤，抗告意旨請求廢棄原裁定，並請求准許如聲明所示之保全證據，為無理由，應予駁回。
伍、結論：本件抗告為無理由，依110年12月8日修正公布之智慧財產案件審理法第1條，民事訴訟法第495條之1第1項、第449條第1項、第95條、第78條，裁定如主文。
中 華 民 國 112 年 9 月 7 日
智慧財產第一庭
審判長法官 蔡惠如
法官 吳俊龍
法官 陳端宜
以上正本係照原本作成。
本裁定除以適用法規顯有錯誤為理由外，不得再抗告。如提起再抗告，應於收受送達後10日內委任律師為代理人向本院提出再抗告狀，並繳納再抗告費新臺幣1,000元。
中 華 民 國 112 年 9 月 7 日
書記官 吳祉瑩
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