智慧財產及商業法院民事-IPCV,108,民聲,23,20190524,2

智慧財產法院民事裁定
108年度民聲字第23號
聲 請 人 ENTEGRIS, INC.（美國安堤格里斯公司）


法定代理人 Arlene Hornilla

代 理 人 張哲倫律師
陳初梅律師
陳佳菁律師
呂書瑋律師
相 對 人 家登精密工業股份有限公司


法定代理人 邱銘乾
上列聲請人與相對人間因聲請保全證據事件，本院裁定如下：

主 文

聲請駁回。

聲請程序費用由聲請人負擔。

理 由

一、本件聲請意旨略以：

（一）本件有證據保全之法律上利益及事實上必要性：１、聲請人遭侵害專利權：⑴聲請人為半導體與其他高科技產業的領導供應商，為相關產業之製程提供光罩保護與精密自動化介面，協助提升產量並減低停產時間。

中華民國第I391304 號「光罩盒」發明專利（下稱系爭專利）為聲請人所有，專利保護期間自民國102年4月1日至115年9 月26日，目前仍為有效之專利。

⑵聲請人頃發現台灣積體電路製造股份有限公司（下稱台積電公司）於SEMICON Taiwan 2016 會議所發佈之投影片中（投影片名稱：EUV Lithography--The March toward HVM;網址：http://www.semicontaiwan.org/en/sites/semicontaiwan.org/files/datal6/docs/(5)%20SEMICON%20Taiwan%202016%20Yen%20for%20release.pdf；

聲證3 ），列有相對人之系爭產品相片（聲證3 第20頁）。

此外，聲請人近日始知相對人於SEMICON West_201 4所發佈之投影片，亦清楚列有系爭產品之照片（投影片名稱：Gudeng EIPWith Pellicle Development Update;聲證4）。

經比對判斷，系爭產品至少具有系爭專利申請專利範圍第1項、第18項之技術特徵，落入系爭專利之文義範圍，而侵害系爭專利（聲證5）。

２、本件有保全必要性：⑴系爭產品係提供予半導體製造商，供其維持潔淨的光罩置放環境之光罩盒。

有鑑於系爭產品非如飲料或手機等於市場自由流通之商品，而係販售予極少數之特定半導體製造商【亦即，公司對公司（business to business）之商業模式，而非零售模式）】。

從而，系爭產品之產製、銷售，除交易雙方當事人之外，外人均難以探知其詳。

再者，系爭專利及系爭產品所涉EUV 曝光技術，又屬7 奈米以下之極高階半導體製程，全球亦僅有韓國三星、我國台積電公司及美國Intel 等第一線半導體製造廠商，有能力投入研發製造，由於系爭產品之買方屈指可數，在在增添聲請人以一己私人之力之蒐證困難，更無從自行自相對人購得系爭產品並取得購買憑證。

故將來聲請人對相對人起訴主張專利侵權時，相對人極可能主張其並未製造與/ 或銷售系爭產品、否認聲請人所握證據及/ 或其來源之正當性與真實性，並進而否認聲請人前述專家分析及所作成系爭產品落入系爭專利範圍之結論。

此外，相對人亦極可能於本院將聲請人之民事起訴狀送達後，隨即修改產品結構，或以其他方式竄改相關文件資料等。

從而，聲請人難以透過合法、正常與公開管道自行蒐集、取得相對人侵害系爭專利之侵權事證。

⑵綜上，一般人若無特殊管道，實難以取得系爭產品，更難以知悉有多少侵權產品及型號存在。

因此，若不能於此時將系爭產品予以保全，於本案訴訟程序開始後，相對人極可能設法隱匿相關證據或其它聲請人無從獲得之侵權產品及證據，造成本案訴訟中調查之困難，聲請人因侵權產品所受損害之權益將難以回復。

故本件證據保全確有必要。

３、關於聲明第2項部分之說明：聲明第2項所列各項應記錄保存文件，均與相對人製造或使用系爭產品或系爭產品之結構有關，若能取得該等文件，對於釐清其侵權行為以及對聲請人造成之損害額、協助鈞院調查聲請人受侵害之事實及情況，均有重要實益，亦可協助聲請人判斷是否續行訴訟。

而此等證據均為文件性質，極易竄改，是若不能於透過證據保全加以蒐集，於民事起訴狀送達相對人後，前述文件恐遭隱匿滅失或有礙難使用之風險。

準此，聲請人實有就該必要證據予以保全之法律上利益及事實上必要性。

（二）聲明：１、准予就相對人之南科分公司與樹谷廠房所持有之全部「極紫外光製程光罩盒」與「微紫外光光罩傳送盒」（EUV POD）產品（包括但不限於樣品、半成品及完成品），以勘驗、拍照、錄影或其他必要方式予以保全。

２、准予就相對人之南科分公司與樹谷廠房所持有之全部「極紫外光製程光罩盒」與「微紫外光光罩傳送盒」（EUV POD）產品相關之記錄文件，如產品結構相關之全部工程圖（包括但不限於爆炸圖、2D圖、3D圖及料號表等）、行銷資料、產品報價單、產品採購/銷售/出貨單等文件或協議（契約）、產品購買收據、產品操作/ 使用說明書等相關文件，予以勘驗、拍照、錄影或其他必要方式予以保全；

若為電磁記錄，應將該等電磁記錄備份及列印以為保全。

二、按證據有滅失或礙難使用之虞，或經他造同意者，得向法院聲請保全；

就確定事、物之現狀有法律上利益並有必要時，亦得聲請為鑑定、勘驗或保全書證；

保全證據之聲請，應表明應保全之證據，並釋明應保全之理由，此觀民事訴訟法第368條第1項、第370條之規定即明。

而所謂證據有滅失之虞，係指供為證據之材料本體，有消失之危險；

至證據有礙難使用之虞，係指證據若不即為保全，將有不及調查使用之危險者而言，而民事訴訟法第370條第1項第4款所謂應保全證據之理由，當包含民事訴訟法第368條第1項所定要件，如證據是否有滅失或礙難使用之虞、就確定事、物之現狀有無法律上利益並有必要、或如專利侵害事件之侵權可能性等各種事由，依同法第370條第2項規定，聲請人自須依民事訴訟法第284條規定，提出可使法院信其主張為真實並能供即時調查之證據予以釋明，尚不得僅憑聲請人一方主觀抽象之臆測，即准許為證據保全。

證據保全之目的在防止證據之滅失，或難以使用，致影響裁判之正確；

苟證據並非即將滅失，致有時間上之急迫性，而得於調查證據程序中為調查者，訴訟當事人原得於調查證據程序中聲請調查即可，自無保全證據之必要（最高法院99年度台抗字第629 號、85年度台抗字第305號、92年度台抗字第502 號、94年度台抗字第725號裁定意旨參照）。

另所謂就確定事、物之現狀具有法律上之利益與必要性聲請證據保全，不僅須有法律上之利益，尚須有必要性，且此必要性須依比例原則判斷，以免聲請人藉此達到打擊競爭對手之目的。

復參照同法第284條規定，聲請人應提出可使法院相信其主張為真實之得以即時為調查之證據予以釋明，否則即不應准許（最高法院98年度台抗字第753 號民事裁定參照）。

三、本件聲請人向本院聲請就系爭產品予以保全云云。職是，本院首應分別分析系爭專利與系爭產品技術特徵，繼而審究系爭產品是否侵害系爭專利，最後再判斷聲請人是否有聲請保全證據之必要性。

經查：

（一）系爭專利技術分析：１、為了儲存、運輸、裝運及處理半導體製程中所需的光罩，需要利用光罩盒來提供光罩穩定且牢固之支撐，並防止光罩受到微粒的污染。

２、在系爭專利所揭露的一個光罩盒實施例中，其係藉由位於光罩盒基座之角部附近之圓球或斜面定位至一安放位置上，且沿切線接觸光罩角部附近之光罩邊緣對光罩實施定位，以最小之接觸面積對光罩實施定位，有助於減少內部微粒之產生。

另外，封蓋上設有光罩固持器，該等固持器可包含圓球，以接觸光罩之未經圖案化或夾持表面。

藉由封蓋之光罩固持器以及基座之凸起物，上下固持並支撐光罩。

而光罩與基座之內表面之間不會接觸，並提供一足夠窄之間隙以提供一擴散屏障，以防止微粒進入該間隙內及光罩之關鍵區域上。

（二）系爭專利圖式：如附圖一所示。

（三）系爭專利申請專利範圍分析：系爭專利申請專利範圍共32項請求項，其中請求項1、9、18、22、24及30為獨立項，其餘為附屬項。

聲請人主張相對人之系爭產品對系爭專利請求項 1、18構成侵權，以下僅列請求項1、18之內容：１、請求項1：一種用於容納光罩之容器，該光罩具有一周緣、一頂面、一底面、一側面、四周角、一頂邊及一底邊，該容器包括：一基座，其具有一周緣、四側面及帶有複數個向上延伸之接觸元件之一朝上頂部水平面，該等接觸元件具有一用以與該光罩之底面嚙合之圓形頂面，該基座板更具有複數個支柱，用以定位而限制該光罩之周緣，該等接觸元件之頂面及該複數個支柱界定一光罩安放位置，該朝上頂部水平面係平坦的且在該光罩安放位置下朝該四側面延伸，該朝上水平面更具有一密封面，係環繞該基座延伸或於鄰近該基座之周緣延伸；

一封蓋，其用於沿該基座板周緣與該基座板之頂面嚙合，藉以界定一用於容納該光罩之內腔，該封蓋具有一朝下水平平坦密封面，用以與該基座之朝上頂部水平面之密封面相配合，以在該等表面相接觸時於其間形成一密封。

２、請求項18：一種用於容納光罩之容器，該光罩具有一周緣、一頂面、一底面、一側面、四周角、一頂邊及一底邊，該容器包含：一基座，其具有一周緣、及帶有複數個從該基座延伸出之球體之一朝上頂部水平面，該等接觸元件界定一光罩安放位置，該基座在該周緣處或鄰近該周緣處具有一朝上之密封面；

一封蓋，其用於沿該基座板之周緣嚙合該基座板之頂面，藉以界定一用於容納該光罩之內腔，該封蓋具有一朝下之密封面，以與該基座之朝上頂部水平面之密封面相配合，以在各該表面相接觸時在其間形成一密封；

其中，該封蓋包括複數個可垂直移動之光罩支柱係彈性定位於該封蓋內，該等光罩支柱可整體移動的相對於該封蓋而由該容器之外部與該光罩嚙合。

（四）系爭產品技術分析：１、台積電公司所使用之相對人產品：聲證3係台積電公司於105 年9月9日關於極紫外光（EUV）微影製程之投影片，其中第21頁提及其使用相對人之雙重光罩盒（dual-pod）來保持光罩潔淨，該頁也顯示了雙重光罩盒其剖面示意圖及外觀（如附圖二），但並未提及任何型號。

２、相對人之版本F極紫外光光罩盒：聲證4係相對人於103年7月8日關於內層光罩盒施以防塵薄膜（pellicle） 發展說明之投影片，其中第3頁提及其於102年至103年間發表版本F（Version F）之極紫外光光罩盒（EUV carrier），第7 頁則顯示內層光罩盒經過500次清洗後，封蓋及基座的反射率及表面仍與原來無異（如附圖三），而因該頁中所示的封蓋底面及基座頂面照片過小，無法辨別封蓋下方及基座頂面中得以固持光罩之結構為何。

３、新聞報導之相對人產品（G/GP Type EUV光罩盒）：聲證10係107 年12月11日鉅亨網之新聞報導，其內容提及相對人開發新一代EUV 極紫外光光罩傳送盒，並有G-Type（無光罩護膜）及GP-Type （有光罩護膜）兩種版本，相對人業已準備於樹谷廠及南科廠區進行量產。

（五）聲請人保全證據理由分析：１、聲請人未釋明系爭專利請求項1、18受侵權之可能性：聲請人稱依聲證3 之投影片分析確認系爭產品落入系爭專利請求項1、18，並提出聲證5之侵權比對表。

惟查：⑴系爭專利之主要技術重點在於藉由封蓋之光罩固持器（例如圓球）以及基座之凸起物（例如圓球）上下固持並定位光罩，系爭專利請求項1 中界定有「該等接觸元件具有一用以與該光罩之底面嚙合之圓形頂面，該基座板更具有複數個支柱，用以定位而限制該光罩之周緣」技術特徵（即聲證5第3 頁之(1-C)技術特徵），請求項18中界定有「一基座，其具有一周緣、及帶有複數個從該基座延伸出之球體之一朝上頂部水平面…」（即聲證5第9頁之(18-B)技術特徵）、「該封蓋包括複數個可垂直移動之光罩支柱係彈性定位於該封蓋內，該等光罩支柱可整體移動的相對於該封蓋而由該容器之外部與該光罩嚙合」技術特徵（即聲證5第11頁之(18-F)技術特徵）。

雖聲證5將聲證3 第21頁右側的系爭產品外觀圖與系爭專利請求項 1、18比對後，認為前述技術特徵均見於系爭產品（見聲證5 第3、9、11頁），然觀諸其分析比對理由，僅是另以聲證4 之光罩內盒基座照片擷取部分後自行標示「圓形頂面」、「支柱」，或另以聲證3 第21頁之照片自行標示「可垂直移動之光罩支柱，係彈性定位於封蓋內」，姑不論聲證3、4之光罩盒是否為同一光罩盒仍有疑義，由聲證3、4之照片僅能確認光罩盒之封蓋與基座，至於其細部結構形狀為何或是否能垂直移動等情，並不能夠清楚辨識，特別是由聲證3 第21頁左側的系爭產品剖視示意圖，明顯可見並無任何足以對應於「圓形頂面」、「球體」、「可垂直移動之光罩支柱」的技術特徵，難謂聲請人已盡釋明之責。

⑵聲證5之侵權比對表左欄有關系爭專利請求項1內容項下所示，明顯並非系爭專利圖式，則聲請人究竟係以何基礎進行比對，實有疑問。

經本院108年5月10日當庭詢問，聲請人嗣後始提出聲證12之比對表，將前述之圖式移列至系爭產品欄位項下，主張聲證5 中之圖式來源乃相對人之美國專利案（US 8,220,630，即聲證13），聲請人係援引相對人之美國專利案以輔助說明系爭產品之事實特徵，據以釋明系爭產品確有侵害系爭專利之高度蓋然性（108年5月15日民事陳報狀第1 頁）云云。

惟專利侵權與否之判定，應以系爭專利與系爭產品進行比對，聲請人卻以相對人之美國專利作為參考、比對之對象，其基礎事實已非正確。

再者，聲證3、4中並未見有相對人之美國專利號碼，則聲證3、4中之系爭產品是否確為相對人實施其美國專利後之態樣，聲請人亦無提出其他客觀證據予以釋明，自有疑問。

縱將相對人之前述美國專利與系爭專利加以比對，聲請人主張該美國專利所示之支撐凸點(supporting protrudingpoint 705) 具有圓弧形頂面(rounded surface)，對應於系爭專利請求項1 之基座接觸元件具有「圓形頂面」技術特徵（聲證12第3 頁），然遍查該美國專利說明書內容並無任何「圓弧形頂面」之相關敘述，由其圖5、圖8標有元件符號705 之處也看不到有明確的圓弧形頂面，遑論對應於系爭專利請求項1 之前述「圓形頂面」技術特徵，甚或對應於系爭專利請求項18之基座具有「複數個從該基座延伸出之『球體』」技術特徵。

又該美國專利之固持件(40)係設於內容器(2) 之內盒上蓋(22)中，可受外盒上蓋(12)蓋合時之壓迫向下移動進而與光罩(9) 之上表面接觸，是以該美國專利之固持件(40)係由內容器(2) 之「內部」與光罩嚙合，亦與系爭專利請求項18之「該等光罩支柱可整體移動的相對於該封蓋而由該容器之『外部』與該光罩嚙合」（即聲證12第13頁之(18-F)技術特徵）有明顯之差異。

⑶綜上所述，聲請人所提之證據及理由，尚未足以釋明系爭產品有對系爭專利請求項1、18構成侵權之可能性。

２、聲請人請求裁定事項過於廣泛：聲請人聲明第1項係就相對人之南科分公司與樹谷廠房所持有之「全部」極紫外光製程光罩盒與微紫外光光罩傳送盒，以勘驗、拍照、錄影或其他必要方式予以保全。

惟觀諸聲請人提出之聲證3、4、10，僅有聲證3、4可見系爭產品之外觀，聲證10提及的G-type與GP-type 光罩盒並無任何外觀構造可供比對。

本件聲請人僅係以聲證3 之系爭產品照片據以比對系爭專利請求項1、18者，然聲證3並無任何型號可與聲證4、10相互勾稽，故縱令聲證 3、4、10所示光罩盒係相同結構之系爭產品，可能對系爭專利請求項1 、18構成侵權者，至多仍僅限於前述證據中所提及之特定極紫外光製程光罩盒。

然聲請人係聲明保全相對人之「全部」極紫外光製程光罩盒，其如此聲明之原因無非係認為只要是極紫外光製程光罩盒就可能對系爭專利構成侵權，惟依聲證13號之相對人美國專利所示，仍有不同於系爭專利之其他極紫外光製程光罩盒結構或技術手段，同樣能達成定位與固持極紫外光製程光罩之功能，而聲請人並未提出相關證據予以釋明何以極紫外光製程光罩盒僅能使用系爭專利技術特徵，或極紫外光製程光罩盒使用系爭專利技術特徵之必要性，故此部分之釋明顯然不足。

（六）綜上所述，聲請人固已釋明因光罩盒產品非於一般市面上可隨意購買取得，致聲請人在取證上有其難處，惟聲請人提出之保全證據理由及證據，既尚不足以釋明系爭產品有侵害系爭專利請求項1 、18之可能性，則本院經權衡當事人之法律利益與相對人營業秘密之保護，自不得僅憑聲請人前揭證據及聲請理由即遽而准予本件證據保全。

職是，本件聲請證據保全，為無理由，應予駁回。

據上論結，本件聲請為無理由，爰依智慧財產案件審理法第1條，民事訴訟法第95條、第78條，裁定如主文。

中 華 民 國 108 年 5 月 24 日
智慧財產法院第三庭
法 官 蕭文學
以上正本係照原本作成。
如不服本裁定，應於送達後10日內向本院提出抗告狀，並繳納抗告費新臺幣1,000元。
中 華 民 國 108 年 5 月 24 日
書記官 蔣淑君