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最 高 行 政 法 院 判 決
108年度判字第249號
上 訴 人 羅門哈斯研磨材料控股公司
代 表 人 Blake T. Biederman
訴訟代理人 黃麗蓉 律師
馮達發 律師
被 上訴 人 經濟部智慧財產局
代 表 人 洪淑敏
參 加 人 美商奈平科技股份有限公司
代 表 人 H. Carol Bernstein
訴訟代理人 陳翠華 專利師
陳群顯 律師
上列當事人間發明專利舉發事件，上訴人對於中華民國107年4月12日智慧財產法院106年度行專訴字第34號行政判決，提起上訴，本院判決如下：
主 文
上訴駁回。
上訴審訴訟費用由上訴人負擔。
理 由
一、緣上訴人於民國90年5月25日以「化學機械平面化之拋光襯墊」向被上訴人申請發明專利（申請專利範圍共10項，第1、8項為獨立項，其餘為附屬項），並以西元2000年5月27日申請之美國第60/207,938號專利案及2000年7月28日申請之美國第60/222,099號專利案主張優先權，經被上訴人編為第90112660號審查後，於92年3月5日核准專利，並於92年4月21日公告發給第528646號專利證書（下稱系爭專利）。
嗣參加人於101年4月27日以系爭專利違反90年10月24日修正公布、90年10月26日施行之專利法（下稱核准時專利法）第20條第1項第1款、第2項及第71條第3款之規定，而對之提起舉發。
上訴人乃於103年2月14日提出申請專利範圍更正本，經被上訴人審查，於105年10月28日以（105）智專三（三）05048字第10521337420號專利舉發審定書為「103年2月14日之更正事項，准予更正。
請求項1至2、5至7舉發成立，應予撤銷。
請求項3至4舉發不成立」之處分（下稱原處分）。
上訴人不服其中關於「請求項1至2、5至7舉發成立，應予撤銷」部分之處分，提起訴願，經決定駁回，上訴人仍未甘服，遂向智慧財產法院（下稱原審）提起行政訴訟，經原審依職權命參加人獨立參加本件被上訴人之訴訟，並判決駁回後，上訴人仍不服，遂提起本件上訴。
二、上訴人起訴主張：㈠系爭專利更正後請求項1、2具新穎性：證據3無法與證據5、6、7、12相互勾稽，證據4無法與證據5、6、8相互勾稽，均無法證明系爭專利更正後請求項1不具新穎性，證據2僅揭露「在30℃及60℃時的張力模數比為1.0到2.5」，證據5、6均不適格，故證據2、5、6均無法證明系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
系爭專利更正後請求項2為請求項1之附屬項，上開證據自亦無法證明系爭專利更正後請求項2不具新穎性。
㈡證據2未記載該拋光層之E'在30℃與90℃時之比例數值，證據9僅揭示一種材料，並非抛光墊，證據11所涉公式限應用於等向性材料，證據10未揭示抛光墊為等向性材料，故證據2及9之組合、證據10及11之組合均無法證明系爭專利更正後請求項1不具進步性。
㈢證據3為不適格證據，證據13、14、10、11均未揭示抛光墊本體製作方法，故證據2、9及證據3、13、14或15之組合、證據10、11及證據2、3、13、14或15之組合，均難以輕易完成系爭專利更正後請求項2之發明，系爭專利更正後請求項2具進步性。
㈣證據2、9、10、11、14之技術內容，業如前述，故證據2、9及14之組合、證據10、11及14之組合，均無法證明系爭專利更正後請求項5不具進步性。
㈤系爭專利更正後請求項6「該襯墊在一約25℃之室溫下浸泡於去離子水中24小時後，該襯墊之硬度減少約30%」之限定技術特徵，係用以達成「賦予金屬線小於500A的碟化作用」之功效，證據34、35僅是一般性說明拋光墊之性質，未提及如何防止碟化作用，故證據2、9及證據34或35、證據10、11及證據34或35之組合，均無法證明系爭專利更正後請求項6不具進步性。
㈥縱認證據2、10、15已揭露系爭專利更正後請求項7之限定技術特徵，證據2、9之組合、證據2、9及證據10或15之組合、證據10、11之組合、證據10、11及證據2或15之組合，亦無法證明系爭專利更正後請求項7不具進步性。
㈦系爭專利更正後請求項1之「在30℃到90℃時之E'比」，意指「E'（30℃）/E'（90℃）」，系爭專利說明書復已清楚揭露系爭專利更正後請求項1之發明目的、技術內容、特點及功效，更於第17頁實例3及第18頁實例4載明製備更正後請求項1拋光墊之方法，故系爭專利所屬技術領域具有通常知識者均得據以實施，系爭專利說明書實已充分支持系爭專利更正後請求項1，並未違反核准時專利法第71條第3款規定等語，求為判決訴願決定及原處分關於「請求項1至2、5至7舉發成立，應予撤銷」部分均撤銷。
三、被上訴人則以：㈠由於系爭專利亦適用於聚合物黏彈性力學領域，而蒲松比仍應介於一定的數值範圍內始能適用線性黏彈性的理論，故依據證據10所揭露之剪力能量儲存模數G'的比值，熟習該項技術者仍可預期能獲得系爭專利更正後請求項1之E'的比值範圍。
㈡系爭專利更正後請求項1之拋光襯墊，僅限定在30℃及90℃時所測得之E'比值，並未界定測試時狀態究為「乾燥」或「浸水24小時」，自不能以此排除證據10所揭露之測試條件。
證據10圖4既已在攝氏30度至90度的溫度範圍中求得一系列G'值，即隱含其適用證據11所教示的小變形量情形，由此推導出之蒲松比（μ）換算公式自亦在適用之範圍內，亦即在攝氏30度及90度時均應適用黏彈性力學之假設。
可知證據11已教示G（G'）、E（E'）、E=2（1+μ）G均定義在小變形量情形，且因證據10係適用小變形量情形，即可得知E=2（1+μ）G亦適用於證據10。
㈢原處分已說明對原證5、6及原證7上開專家意見之具體理由，實難稱原處分有不備理由之違法等語，資為抗辯，求為判決駁回上訴人之訴。
四、參加人則以：㈠由證據5、6、7之溫度對儲存模數之曲線圖，可知其等IC1000拋光墊30℃到90℃時的E'比，均落於1到3.6之間，另依動態機械分析法的通常知識，測試頻率之改變僅為試驗條件之簡單變化，能由熟習該項技術者所直接推導，證據3及輔助證據5、6、7、12足證系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
㈡由證據5、6、8之溫度對儲存模數之曲線圖，可知其等拋光墊30℃到90℃時的E'比，均落於1到3.6之間，故證據4及輔助證據5、6、8足證系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
㈢證據28、37及參證12等證據足以證明證據5、6已於系爭專利優先權日前公開，由於證據5、6已揭露系爭專利更正後請求項1之全部技術特徵，因此系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
㈣證據2揭露可用於製造半導體元件或類似物件之拋光襯墊具有「在30℃及60℃時的張力模數比為1.0到2.5」之技術特徵，證據9揭露一特別適合應用在製造彈性磁性記錄媒材與研磨工具之組成物，具有在30℃及90℃時之E'比為2.73、2.53、及2.87之特徵，證據2、9之組合足證系爭專利更正後請求項1不具進步性。
㈤證據10測試標的為SUBA IV及IC1000二種拋光墊，根據圖4所示之剪力模數對溫度之曲線圖，已明確揭露「當溫度由30℃提高到90℃時，然而IC1000拋光墊的G'會下降約3倍，SUBA IV拋光墊則僅會下降約1.5倍。」
，並已揭露「蒲松比（Poisson's ratio）為0.5」之假設。
證據11揭露ㄧ材料之拉伸模數E與剪力模數G間之關係式為「E= 2（1+μ）G」，其中μ為蒲松比，故熟習該項技術之人士可輕易計算出IC1000拋光墊及SUBA IV拋光墊之E'（30℃）/E'（90℃）比值分別為2.2及1.65，已揭露系爭專利更正後請求項1所請之E'（30℃）/E'（90℃）比值，故證據10、11之組合足證系爭專利更正後請求項1不具進步性。
㈥系爭專利優先權日前已公開販售、使用之IC1000拋光墊已經揭露系爭專利更正後請求項2之全部技術特徵，證據3及輔助證據5、6、7、12足證系爭專利更正後請求項2不具新穎性等語，求為判決駁回上訴人之訴。
五、原審斟酌全辯論意旨及調查證據之結果，以：㈠系爭專利更正後請求項1具新穎性：⒈證據3僅簡要記載IC1000拋光墊之規格及內容，並未揭露系爭專利更正後請求項1之全部技術特徵，不足證系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
⒉證據4並未揭露系爭專利更正後請求項1之全部技術特徵，不足證系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
⒊證據2僅揭露在30℃及60℃時的張力模數比為1.0到2.5，且熟習該項技術者參酌證據2所揭露之前開技術內容與當時既有之技術知識，非可直接推導其E'（30℃）/E'（90℃）之比值落於系爭專利更正後請求項1所界定E'比之數值範圍（1至3.6）內，不足證系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
⒋證據5、6所揭露儲存模數對應橫軸溫度數值，無法了解其實際實驗參數條件與系爭專利是否相同，不足證系爭專利更正後請求項1不具新穎性。
㈡系爭專利更正後請求項2依附於請求項1，證據2、3、4、5、6既不足證系爭專利更正後請求項1不具新穎性，亦不足證系爭專利更正後請求項2不具新穎性。
㈢證據10與證據11之組合可證系爭專利更正後請求項1不具進步性：證據10明確揭露可利用黏彈性材料之原理進行量測及估算，並假設μ為0.5，而證據11明確揭露當μ＝0.5時，E＝3G，故IC1000或SUBA IV拋光墊於頻率1Hz下量測之E'，在30℃和90℃時的比例應亦分別為約3及約1.5，必然落於1至3.6間。
又由證據10圖4可以看出，於0.5Hz或1Hz之頻率下進行量測，對於SUBA IV拋光墊之G'完全沒有影響，而對於IC1000拋光墊僅有些微影響，但經換算為G'在30℃和90℃時的比例後皆無實質影響，且由於頻率1.6Hz與1Hz之差異極小，可以當然推測當於頻率1.6Hz下進行量測，IC1000或SUBA IV拋光墊在30℃和90℃時的E'比例亦必然落於1至3.6間。
經參酌證據10、11後，可知IC1000或SUBA IV拋光墊為熟悉該項技術者，於系爭專利申請前所周知選用之拋光墊材料，熟悉該項技術者欲解決抛光墊材料之技術問題時，可以輕易依據證據10及11之內容，完成系爭專利更正後請求項1之發明，證據10、11之組合足證系爭專利更正後請求項1不具進步性。
㈣系爭專利更正後請求項2不具進步性：證據2揭露於不同條件下其拋光墊硬度皆為25至80 Shore D，證據3揭示IC1000拋光墊硬度為57 Shore D，證據13揭露IC1000拋光墊之硬度為52至62 Shore D，證據14揭露一硬度為44 Shore D之拋光墊，證據15揭露一硬度為50或70 Shore D之拋光墊，證據2、3、13至15已揭露系爭專利更正後請求項2之技術特徵，證據10、11及2之組合、證據10、11及3之組合、證據10、11及證據13、14或15之組合皆可以證明系爭專利更正後請求項2不具進步性。
㈤系爭專利更正後請求項5不具進步性：證據14揭露拋光襯墊於以20℃之水浸泡24小時後，其具有小於2%之膨脹量，證據14拋光墊於20℃與系爭專利之25℃均屬通常室溫範圍，該溫度差異並未有無法預期之功效，故已對應揭示系爭專利更正後請求項5之技術特徵，證據10、11及14之組合可以證明系爭專利更正後請求項5不具進步性。
㈥系爭專利更正後請求項6不具進步性：證據34揭露水破壞交聯胺基甲酸酯結構之氫鍵，使得泡水之抛光墊較乾燥之抛光墊為軟，證據35揭露由於泡沫吸收水使二集氫鍵斷裂而成為高濕度或高水分狀態，使得泡水之抛光墊較乾燥之抛光墊為軟，已對應揭露系爭專利更正後請求項6之技術特徵，證據10、11及證據34或35之組合可以證明系爭專利更正後請求項6不具進步性。
㈦系爭專利更正後請求項7不具進步性：⒈證據10揭露溫度自30℃升高至90℃時IC1000拋光墊G'降低約3倍，SUBAIV拋光墊G'降低約1.5倍，經由拋光墊之蒲松比假設為0.5，以進一步推算張力模數E'，可知該IC1000拋光墊E'（30℃）/E'（90℃）之比值約為1，又證據2揭露一拋光墊之表面粗糙度為小於10微米，證據10揭露一表面粗糙度為5.7及7.355微米之IC1000拋光墊，故證據2、9及10之組合可證系爭專利更正後請求項7不具進步性。
⒉證據10及證據11之組合已足證系爭專利更正後請求項1不具進步性，證據2、10、15已揭露系爭專利更正後請求項7進一步限定該抛光墊具有一從約1到約9微米Ra的表面粗糙度之技術特徵，故證據10、11之組合、證據10、11及2之組合、證據10、11及15之組合，均可證系爭專利更正後請求項7不具進步性等語，判決駁回上訴人在原審之訴。
六、本院按：㈠按「發明專利權得提起舉發之情事，依其核准審定時之規定。」
為專利法第71條第3項本文所明定。
查系爭專利申請日為90年5月25日（優先權日為西元2000年5月27日、2000年7月28日），經被上訴人於92年3月5日審查核准專利，並於92年4月21日公告。
嗣參加人於101年4月27日提出舉發，經被上訴人審查，於105年10月28日為原處分，故系爭專利有無撤銷之原因，應以核准審定時所適用之90年10月24日修正公布、90年10月26日施行之專利法（即核准時專利法）規定為斷。
次按，利用自然法則之技術思想之創作，且可供產業上利用之發明，得依核准時專利法第19條、第20條第1項前段規定申請取得發明專利。
又發明為其所屬技術領域中具有通常知識者依申請前之先前技術所能輕易完成時，不得依同法申請取得發明專利，同法第20條第2項定有明文。
㈡本件關於證據10、11之組合足以證明系爭專利更正後請求項1不具進步性，證據10及11分別與證據2、3、13、14、15之組合足以證明系爭專利更正後請求項2不具進步性，證據10、11及14之組合足以證明系爭專利更正後請求項5不具進步性，證據10及11分別與證據34、35之組合足以證明系爭專利更正後請求項6不具進步性，證據2、9及10、證據10及11、證據10及11分別與證據2、15之組合足以證明系爭專利更正後請求項7不具進步性等情，業據原審依調查證據之辯論結果，詳細敘明其得心證之理由，經核其認事用法並無違經驗或論理法則，原判決所適用之法規與該案應適用之法規並無違背，與解釋判例亦無牴觸，並無判決違背法令之情形。
㈢系爭專利更正後請求項1內容為「一種用來平面化一半導體元件或其先質表面之拋光襯墊，該襯墊之特徵為：一用來平面化該表面之拋光層，該層具有一在10弳度/秒之頻率下利用動態機械分析法所測量之在30℃到90℃時約為1到3.6的E'比。」
依原判決確定之事實，證據11為聚合物黏彈性導論之教科書，其第9頁記載張力模數E（tensile modulus）、剪力模數G（shear modulus）及蒲松比μ（Poisson's ratio）之關係為E=2(1+μ)G，而證據10第604頁圖4則記載ICl000及SUBA IV抛光墊分別以DMA983動態機械分析儀所測得之剪力能量儲存模數G'與溫度關係圖，並揭露於0.5Hz或1Hz頻率下，ICl000及SUBA IV抛光墊在30℃及90℃量測所得G'值之比例分別約為3及1.5等技術內容，則熟習該項技術者就證據10所揭露之G'值，參酌證據11之內容，即可換算推測得到E'比值，亦即IC1000或SUBA IV拋光墊於頻率1Hz下量測之E'比值，在30℃及90℃之比例分別為約3及約1.5，而已揭露系爭專利更正後請求項1所記載「在30℃到90℃時約為1到3.6的E'比」之技術特徵。
至於證據11雖係以一等向性固體（isotropic solids）進行實驗，惟原判決已說明：IC1000拋光墊所接觸研磨晶圓之下層聚胺酯微孔狀材料結構間，依通常知識者均認定其材料對於待磨晶圓應屬於無方向性之均質表面，以將半導體晶圓表面進行均勻研磨，自可應用證據11所假設材料力學之等向性及均值性來進一步推導，以換算出得到E'比值等情。
又證據11雖記載「根據實驗結果，橡膠之μ（即蒲松比）相當接近0.5，但對某些塑膠是較低，為0.2至0.3，而對某些非均質（heterogeneous）材料則更低」，是以蒲松比確有可能因聚合物之性質有別，而有所不同，甚或為負值。
惟依原判決確定之事實，證據10之實驗係假設μ為0.5，並適用於大部分之聚合物，因此，即使蒲松比有所不同，惟證據10、11均已揭露蒲松比為0.5之約略值，且證據10已記載所量測者為黏彈性材料，證據11為為聚合物黏彈性導論之教科書，熟習該項技術者，即有合理動機參酌證據10所揭露之剪力能量儲存模數G'的比值，再依證據11所記載之張力模數E、剪力模數G及蒲松比（μ）之關係E=2(1+μ)G，在線性黏彈性之理論下，推算出系爭專利更正後請求項1所請之E'比值。
另就上訴人於原審提出陳文章教授所出具之專家意見書，並主張測試頻率會影響樣品之張力模數E及剪力模數G，故無法依證據10獲得1.6Hz下之剪力模數數值及其在30℃及90℃之E'比例乙節，原判決亦已論明：依證據11所示，當μ＝0.5時，E＝3G，故依證據10圖4於頻率1Hz下在30℃和90℃量測之G'，再換算為E'，其比例分別為約3及約1.5，且由證據10圖4可以看出，於0.5Hz或1Hz之頻率下進行量測，對於SUBA IV拋光墊之G'完全沒有影響，而對於IC1000拋光墊僅有些微影響，但經換算為G'在30℃及90℃時的比例後皆無實質影響，且由於頻率1.6Hz（按即系爭專利更正後請求項1所載「10弳度/秒之頻率」）與1Hz之差異極小，熟習化學機械研磨技術者，自證據10、11即可換算推論於頻率1.6Hz下進行量測，IC1000或SUBA IV拋光墊，在30℃及90℃時之E'比值亦係落於1至3.6間，而證據10、11均屬抛光墊相關之研究文獻，是熟悉該項技術者欲解決抛光墊材料之技術問題時，即可依據證據10所揭露抛光墊之技術內容結合證據11，而輕易完成系爭專利更正後請求項1之發明等情，於法亦無不合。
再者，上開專家意見內容係就原審另案（98年度行專訴字第67號行政事件）之專家證人意見書提出不同意見，原審於訴訟程序中，既已透過當事人所提各項技術文獻及相關證據所揭露之技術內容，藉以形成「該發明所屬技術領域中具有通常知識者」及其於系爭專利優先權日之技術水準，進而據以認定系爭專利更正後請求項1至2、5至7不具進步性，且其認定並未違反經驗法則或論理法則，業如前述，則原審即已於訴訟程序中界定「該發明所屬技術領域中具有通常知識者」及其技術水準。
上訴意旨以：上訴人已在原審提出陳文章教授出具之專家意見，以證明系爭專利優先權日前之技術水準，原判決並未定義該發明所屬技術領域中具有通常知識者及其技術水準，證據11之公式僅適用於等向性材料，故在欠缺均質或等向性材料之資訊下，不可能在本案情形決定是否適合使用蒲松比，況具有孔洞之等向性聚氨酯發泡材料，其蒲松比可為負值，則證據10拋光墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值，落在系爭專利更正後請求項1所界定之1至3.6之間之可能性，亦不到50%，該發明所屬技術領域中具有通常知識者如何得以輕易完成系爭專利，原判決均未說明上開主張為何不採之理由，自有不當適用核准時專利法第20條第2項及判決不備理由之違背法令云云，即非有據。
㈣綜上所述，上訴人之主張均無可採，原判決將訴願決定及原處分關於「請求項1至2、5至7舉發成立，應予撤銷」部分均予維持，並駁回上訴人在原審之訴，核無違誤。
上訴論旨，指摘原判決違背法令，求予廢棄，為無理由，應予駁回。
七、據上論結，本件上訴為無理由，依智慧財產案件審理法第1條及行政訴訟法第255條第1項、第98條第1項前段，判決如主文。
中 華 民 國 108 年 5 月 24 日
最高行政法院第三庭
審判長法官 吳 明 鴻
法官 胡 方 新
法官 黃 淑 玲
法官 姜 素 娥
法官 林 欣 蓉
以 上 正 本 證 明 與 原 本 無 異
中 華 民 國 108 年 5 月 24 日
書記官 劉 柏 君
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